干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势

干式真空泵作为一种机械真空泵,具有抽速范围宽、抽气腔内无油、元件无摩擦、能耗低、耐腐蚀等优点。因其泵腔内无油或其他工作介质,可以提供相对洁净的真空环境,目前已经成为微电子、半导体、精密加工、新能源装备等行业首选的真空获得设备。本文简述了干式真空泵在半导体制备及新能源装备制造行业中的应用场景,举例说明了部分干式真空泵的产品特性,总结了国内干式真空泵行业发展空间及面临的挑战。

多级爪型干式真空泵原理分析

多级爪型干式真空泵的结构对于其材料消耗、体积、能耗等性能有着非常重要的作用。本文介绍了北京朗禾科技的最新型结构——螺旋反爪结构,就其原理和国际上最经典的两种结构:螺旋型(德国)和反爪型(英国)做了介绍和对比,说明螺旋反爪结构可以大幅度缩短泵的长度、节约大量的材料、提高抽气效率、降低加工精度、提高抽气性能,对爪型干式真空泵的发展和普及有很好的推动作用。

特殊爪型干式真空泵的容积利用系数

介绍了一种新型的特殊爪型干式真空泵的容积利用系数。根据啮合原理 ,提出了计算机模拟创成方法并同其它爪型干式真空泵的容积利用系数做出了比较。研究表明 ,特殊爪型干式真空泵与单爪型干式真空泵相比 ,在同样结构参数下 (泵腔尺寸或中心距 ) ,对于不同的形状系数 ,容积利用系数提高了 14 %～ 5 6 % ;特殊爪型干式真空泵与双爪型干式真空泵相比 ,在保证转子强度许可和同样结构参数 (泵腔尺寸或中心距 )下 ,对于不的形状系数 ,容积利用系数提高了 1.4 %～ 2 4 .4 %。所以 ,我们得出结论 ,(1)利用新型的特殊爪型转子 ,我们可以在结构尺寸相同时获得更大的抽速 ;(2 )本文提出的计算机模拟创成法 ,对于加快研制开发新的真空泵或压缩机转子型线 。

频谱细化方法在干式真空泵故障诊断中的应用

基于小波变换的频谱细化方法可提取信号所需频率成分的特征。通过合理选择小波参数,利用多个单Morlet小波组成的组合小波可构成具有零相移、平顶通带及快速衰减过渡带特性的带通滤波器,再采用频谱细化方法对干式真空泵轴承的振动信号作频谱分析,提取出故障特征频率,并将该方法与功率谱分析做了对比。结果表明,基于小波变换的频谱细化方法比功率谱分析法有较高的频率分辨率,可更有效地应用于故障诊断,且实现过程也比较简单。

干式真空泵的原理、特征及其应用

本文介绍了干式真空泵的抽气原理、定义和特点及其应用 ,最后简述了干式泵抽除颗粒物质的措施和方法。

爪型干式真空泵的迷宫密封设计与研究

爪型干式真空泵的密封问题是设备故障中最常见的问题,其密封性能好坏直接决定泵能否正常工作。现有的爪型干式真空泵中轴端密封基本上都是采用机械密封、骨架密封或活塞环复合密封,这些密封都属于接触式密封,密封件容易损坏,需要频繁更换密封件。针对这类问题,提出了将迷宫密封装置应用在爪型干式真空泵轴端密封上,通过与原有的密封装置进行对比发现迷宫密封的密封性能要好。

多级爪型干式真空泵的结构分析与优化

介绍了爪型干式真空泵工作原理与结构特点,利用空间力系相关理论对爪型转子在高速旋转过程中动平衡状态进行了分析与试验研究,利用在不同侧面打减重盲孔的方式来调节转子的动平衡状态。针对真空泵的泄漏问题,提出了利用磁流体密封技术提高泵的真空度,并对流体磁场的强度进行了模拟分析。设计了真空泵检测系统,并利用此装置对磁流体密封和机械密封的方式进行了真空度检测,发现磁流体密封的真空度明显优于机械密封的真空度。

爪型干式真空泵磁流体密封的研究

爪型干式真空泵的传动轴轴头外伸部分通过泵盖处的动密封很重要,该处密封性的好坏直接决定整个泵的密封性能。现有的爪型干式真空泵基本上都是采用垫片密封、填料密封、机械密封、骨架密封或活塞环复合密封,这些密封方式都属于接触式密封,密封件在泵腔内摩擦容易损坏,密封件需要定期更换,严重影响真空泵工作效率,也造成资源浪费。针对这些问题,提出了将磁流体密封技术应用在爪型干式真空泵上,成功地解决了现有爪型干式真空泵的密封问题,使其在满足工作要求的情况下大大地延长了使用年限。

干式真空泵在丙酮氰醇装置中的应用

丙烯腈厂10万t/a丙酮氰醇装置所使用的干式真空泵因冷却系统堵塞造成控制系统温升过高而停车,通过定期清洗系统、定期检查冷却系统等措施,解决了制约真空泵平稳运行的瓶颈。

干式真空泵振动选频模块的设计与实现

针对干式真空泵在运转过程中的剐蹭问题,从其工作原理、振动频谱等方面进行分析,设计了剐蹭频率的特征信号提取电路。将设计好的振动选频模块与干式真空泵的主控板相关联,并在手控盒中添加振动检测画面,设置了预警值。当泵在运转过程中出现剐蹭时,剐蹭信号会通过选频模块传输到主控板,在显示终端上显示并报警。通过添加振动选频模块,可实现剐蹭预警,提醒工作人员做好换泵组准备,使生产效率得到提高。

干式真空泵的优化选择

介绍了半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型

干式真空泵技术在烷基化装置上的应用

本文介绍了干式真空泵在烷基化装置上的应用及效果

干式真空泵在石化装置中的选型特点及设计探讨

干式真空泵种类很多,应用于石化装置的真空泵主要是爪式和螺杆真空泵。阐述了这两种真空泵的主要工作原理和结构技术特点,并依据工作经验,给出了干式真空泵在选型设计的注意事项,可为相关工程技术人员提供选型设计方面的参考。

爪型干式真空泵的国产化改进应用

分析了爪型干式真空泵国产化应用改造的过程,在进口爪型干式真空泵的运行经验基础上,从工艺流程优化、新材料应用、冷却方式改造、机械密封型式改进等方面进行了国产化改造,改造后的爪型干式真空泵在运行稳定性、安全可靠性上面均有所提升,设备后期维护保养效率也得到了提升,维修成本大大降低。

干式真空泵分液罐排液操作研究

从本质安全的角度出发,探讨改进干式真空泵分液罐排液操作,是防止干式真空泵进入液体而造成联锁停车和损坏机械部件的重要课题。研究表明,根据现场管线布局测量数据,通过体静力学基本方程式推算,利用原蒸汽喷射泵的0#分液罐可以实现干式真空泵分液罐排液操作由间歇排液操作更改为连续排液操作。最后,编写了干式真空泵分液罐连续排液的实施过程,同时,列举了机械抽真空系统连续排液分液罐的优点。这项改进增加了机械抽真空系统的安全稳定性,最终从本质安全的角度达到了保护干式真空泵的目的。

新一代KINNEY干式真空泵

介绍了干式真空泵的结构特点,并将其与传统的油润滑真空泵和液环真空泵作了详细的比较。重点介绍了新一代KINNEY变节距干式螺杆真空泵。

泰悉尔罗茨螺杆干式真空泵系统

重点介绍了美国泰悉尔(TUTHILL)干式螺杆真空泵和罗茨真空泵的结构特点及罗茨+干式螺杆真空泵系统。

我国干式真空泵发展现状与未来发展战略研究——以山东宁森真空设备公司为例

爪型干式真空泵属于干式真空泵的一种,因过流部分无任何润滑和密封液体,且能对可凝性气体冷凝回收,所以不会造成环境污染,同时兼具抽除能力强、工作平稳、噪声低、维护成本低等特点受到了越来越多制造和应用单位的认可,在干式真空泵市场上占据重要地位。本文的研究对象——山东宁森真空设备有限公司是一家专业生产爪形干式真空泵的创新型企业,公司顺应国家政策,贯彻落实科学发展观,坚持走可持续发展路线,研发的爪型干式真空泵,拥有完全自主知识产权,产品可应用于石油化工、生物制药、航空航天、电子光伏等行业。在发展初期,宁森公司极力在产品研发、产品实现、产品质量控制、产品营销和市场服务等方面提高竞争优势,为用户提供环保、可靠、高性价比的产品和服务。本文通过对干式真空泵的发展分析,运用PEST分析、波特五力模型分析,SWOT分析,结合公司的案例实际,在对公司现有发展状况分析总结的基础上,提出未来发展战略。

基于振动信号的干式真空泵轴承故障诊断

针对某干式真空泵工作中轴承受冲击载荷产生故障问题,基于振动信号的时域、频域、包络谱分析,对轴承进行故障检测。结果表明:与新轴承相比,主动轴承的振动加速度有效值较大,峰值因子和峭度变化不大,故障诊断为摩擦故障,从动轴承测试结果与新轴承接近,摩擦故障不明显。对主动轴承的频谱和包络谱分析发现,内、外圈振动较大,内圈比外圈磨损严重。

干式真空泵的优化选择

过去，人们在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵，其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能令人满意。因此，干式真空泵应运而生。在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异。