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干扰紫外光技术的蚀刻新法
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《中国科技信息》 2003年第23期30-30,共1页
英国Southampton大学光电研究中心与苏格兰的Alcatel Optronics公司合作完成新芯片加工技术,技术的最大突破是使用相同刻蚀点,相同的光学设备及设定同时定义出频道光波导与布拉格光栅,使芯片定义一步完成。
关键词 芯片加工 蚀刻 光栅周期 二维干涉仪 干扰紫外光技术
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