抗蚀剂的干法显影技术研究

在以前还只是处于想象境地的抗蚀剂干显影（等离子体显影）已展示了实现的可能性。一方面开发了能够干显影的抗蚀剂，另一方面还发展了能对现有抗蚀剂作干显影的新工艺。本文简述了至今为止所发表的抗蚀剂的干显影技术方法和技术动向，也介绍了我们所做的有关工作。

丙烯酸-丙烯酸酯共聚物的水溶性

利用自由基型溶液聚合的方法 ,合成了二元、三元和四元系列丙烯酸酯共聚物 ,对它们的水溶性进行了研究 ,探讨了分子量、亲水性基团含量及反应条件对共聚物水溶性的影响。