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低分压湿-干氧氧化及其电击穿特性
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作者 李观启 黄美浅 刘百勇 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第3期16-18,37,共4页
本文提出了一种低分压的湿-干氧氧化方法。利用该方法生长的薄氧化膜,具有比干氧氧化低的缺陷密度和优越的电击穿特性,而且固定电荷密度基本不变或稍有降低。实验结果表明,在一定的水温下,电击穿特性与湿氧分压和氧化温度有关。在较低... 本文提出了一种低分压的湿-干氧氧化方法。利用该方法生长的薄氧化膜,具有比干氧氧化低的缺陷密度和优越的电击穿特性,而且固定电荷密度基本不变或稍有降低。实验结果表明,在一定的水温下,电击穿特性与湿氧分压和氧化温度有关。在较低的温度(850~950℃)下,随着湿氧分压的升高(从10^(-2)~5×10^(-1)atm),高场(≥8MV/cm)击穿的比率增大,而低场(≤4MV/cm)击穿的比率减小,而且,击穿比率的变化最后趋于炮和。在较高的温度(1000~1100℃)下,高场击穿比率的变化有一个峰值。在峰值以后,高场击穿的比率随湿氧分压的升高而减小,而且,峰值对应的阈值湿氧分压有随氧化温度的升高而降低的趋势。 展开更多
关键词 氧化 低分压 湿-干氧氧化 电击穿
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热氧化生长的SiO_2钝化膜对晶体硅太阳电池性能的影响 被引量:3
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作者 叶发敏 冯仕猛 +1 位作者 郭爱娟 熊胜虎 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期270-272,共3页
使用干氧热氧化的方法在晶体硅太阳电池表面生长SiO2钝化膜。结果表明:在780℃下生长的氧化薄膜钝化效果较好,实验检测少子寿命提高了8.3μs,以此为基础制备的太阳电池转换效率达到17.38%。实验还对氮气气氛下的氧化进行研究,发现当氮... 使用干氧热氧化的方法在晶体硅太阳电池表面生长SiO2钝化膜。结果表明:在780℃下生长的氧化薄膜钝化效果较好,实验检测少子寿命提高了8.3μs,以此为基础制备的太阳电池转换效率达到17.38%。实验还对氮气气氛下的氧化进行研究,发现当氮气流量为10L/min时,能强化薄膜的钝化效果,少子寿命可提高9.4μs。 展开更多
关键词 晶体硅 太阳电池 钝化 干氧氧化 表面复合
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高温氧化对SiC MOS器件栅氧可靠性的影响 被引量:1
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作者 周钦佩 张静 +3 位作者 夏经华 许恒宇 万彩萍 韩锴 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第10期754-758,共5页
SiC金属氧化物半导体(MOS)器件中SiO_2栅氧化层的可靠性直接影响器件的功能。为了开发高可靠性的栅氧化层,将n型4H-SiC(0001)外延片分别在1 200,1 250,1 350,1 450和1 550℃5种温度下进行高温干氧氧化实验来制备SiO_2栅氧化层。在室温下... SiC金属氧化物半导体(MOS)器件中SiO_2栅氧化层的可靠性直接影响器件的功能。为了开发高可靠性的栅氧化层,将n型4H-SiC(0001)外延片分别在1 200,1 250,1 350,1 450和1 550℃5种温度下进行高温干氧氧化实验来制备SiO_2栅氧化层。在室温下,对SiC MOS电容样品的栅氧化层进行零时击穿(TZDB)和与时间有关的击穿(TDDB)测试,并对不同干氧氧化温度处理下的栅氧化层样品分别进行了可靠性分析。结果发现,在1 250℃下进行高温干氧氧化时所得的击穿场强和击穿电荷最大,分别为11.21 MV/cm和5.5×10-4C/cm^2,势垒高度(2.43 eV)最接近理论值。当温度高于1 250℃时生成的SiO_2栅氧化层的可靠性随之降低。 展开更多
关键词 SiC金属氧化物半导体(MOS)器件 零时击穿(TZDB) 与时间有关的击穿(TDDB) 干氧氧化 可靠性
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低温生长SiO_2钝化膜在太阳电池上的应用 被引量:2
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作者 胡宇 孟凡英 +6 位作者 董经兵 江民林 余跃波 杨乐 王栩生 王景霄 崔容强 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1073-1077,共5页
主要研究在晶体硅衬底上采用干氧氧化法生长SiO_2薄膜,通过改变非晶SiO_2薄膜的生长温度、时间以及气体流量等参数优化工艺条件,增强对硅片的钝化作用,提高光生少数载流子寿命。实验发现在840℃长的非晶SiO_2薄膜对硅片钝化效果最佳,可... 主要研究在晶体硅衬底上采用干氧氧化法生长SiO_2薄膜,通过改变非晶SiO_2薄膜的生长温度、时间以及气体流量等参数优化工艺条件,增强对硅片的钝化作用,提高光生少数载流子寿命。实验发现在840℃长的非晶SiO_2薄膜对硅片钝化效果最佳,可将硅片少子寿命提高约90%。此外,为优化SiO_2/SiN_x双层膜的减反射作用,采用Matlab程序计算SiO_2/SiN_x双层膜的反射谱,从理论上获得最优的膜系组合。实验发现生长有SiO_2钝化膜的SiO_2/SiN_x双层膜太阳电池相对单层SiN_x膜太阳电池,短路电流和开路电压分别提高了0.2A和8mV,转换效率提高约9%。 展开更多
关键词 干氧氧化 钝化 双层膜 太阳电池
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关于硅基片硬质掩膜形成的可行性研究
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作者 新梅 《大连民族学院学报》 CAS 2001年第3期7-9,共3页
通过实验对热氧化工艺中的两种不同方法,即干氧氧化和水汽氧化进行了比较研究,证明了利用这种工艺形成硅基片硬质掩膜的可行性.
关键词 硅基片 硬质掩膜 可行性 氧化工艺 干氧氧化 水汽氧化 热生长二氧化硅法 半导体工艺
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Coherent-Synchronized Oxidation of 4-Ethylpyridine and Piperidine by Hydrogen Peroxide
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作者 Ali-zadeh Nahmad Islam Nagieva Inara Tofik Nagiev Tofik Murtuza 《Journal of Chemistry and Chemical Engineering》 2013年第1期76-80,共5页
The regions of the selective oxidation of the the production of 4-vinylpyridine, 4-vinylpyridine coherent-synchronized mechanism is suggested for 4-ethylpyridine and piperidine. The HO^*2 radical plays 4-ethylpyridin... The regions of the selective oxidation of the the production of 4-vinylpyridine, 4-vinylpyridine coherent-synchronized mechanism is suggested for 4-ethylpyridine and piperidine. The HO^*2 radical plays 4-ethylpyridine and piperidine have been found, and the optimal conditions for N-monoxide and pyridine have been determined. The most probable hydrogen peroxide decomposition and the free-radical chain oxidation of the key role in this mechanism. 展开更多
关键词 Coherent synchronized FREE-RADICAL CONJUGATION CONJUGATED determinant.
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Microwave-Alkaline Assisted Pretreatment of Banana Trunk for Bioethanol Production
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作者 Egwim Evans Chidi Shittu Kudirat Oluwatisin Komolafe Deborah 《Journal of Energy and Power Engineering》 2015年第8期705-713,共9页
Pretreatment is one of the most important steps in the production bioethanol from lignocellulose materials. Alkaline pretreatment is a common mean of pretreatment but microwave oven could assist its efficiency as it c... Pretreatment is one of the most important steps in the production bioethanol from lignocellulose materials. Alkaline pretreatment is a common mean of pretreatment but microwave oven could assist its efficiency as it can reduce the pretreatment time and improve the enzymatic activity during hydrolysis. The aim of this paper is to determine lignin removal from banana trunk using microwave-assisted alkaline (NaOH and NH4OH) pretreatments. The best pretreatment conditions were used for mass pretreatment before hydrolysis and fermentation. The result shows that, optimum lignin removal was with microwave-assisted NaOH pretreatment with the removal of up to 98% lignin at 2% (w/v (weight/volum)) sodium hydroxide, 170 W microwave power at 10 rain. Microwave-assisted ammonium hydroxide pretreatment achieved 97% lignin removal at 1% ammonium hydroxide concentration and 680 W microwave power at 5 min. Microwave- alkaline assisted pretreatment increased the yield and quality of fermentable sugar after enzyme hydrolysis with NH4OH and ammonium hydroxide yielding 40% and 39% of ethanol, respectively. This result reveals that, well controlled microwave- alkaline assisted pretreatment of banana trunk could effectively remove lignin and give high bioethanol yield. 展开更多
关键词 MICROWAVE alkali PRETREATMENT CELLULOSIC banana trunk bioethanol.
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