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Trikon发布全新Omegai2L干法蚀刻系统
1
作者 付军 《集成电路应用》 2005年第4期59-59,共1页
近日，Trikcm公司宣布，其全新的Omegai2L。干法蚀刻系统在主流硅和功率管理应用中将带来新的市场机遇，其经验证的技术可以帮助降低风险、提高利润的能力.
关键词 Trikon公司 Omegai2L 干法蚀刻系统 主流硅 功率管理应用
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