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入射光束角度及强度偏差对多光束干涉光刻结果的影响 被引量:7
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作者 马丽娜 张锦 +5 位作者 蒋世磊 孙国斌 杨国锋 杭凌侠 弥谦 计玮 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期45-51,共7页
建立了多光束干涉光刻干涉场内光强分布的数学模型,仿真计算了双光束、三光束、四光束干涉曝光情况下,入射光束存在角度偏差以及各入射光强不同时的干涉图样,并与理想状态的模拟结果进行对比.结果表明:光束入射角度偏差主要影响干涉图... 建立了多光束干涉光刻干涉场内光强分布的数学模型,仿真计算了双光束、三光束、四光束干涉曝光情况下,入射光束存在角度偏差以及各入射光强不同时的干涉图样,并与理想状态的模拟结果进行对比.结果表明:光束入射角度偏差主要影响干涉图样的形状和周期;入射光的光强不同是降低图形对比度的主要因素.利用402nm波长激光光源进行多光束干涉光刻实验.设定激光器输出功率32mW,每两束光夹角为16°,通过控制曝光、显影工艺,双光束干涉光刻产生周期为1.4μm的光栅、点阵和孔阵结构,三光束干涉光刻产生周期为1.7μm的六边形图形阵列.该模型可为利用干涉光刻技术制备微细周期结构,提高光刻图形质量,提供一定的理论参考. 展开更多
关键词 干涉 干涉 周期结构 角度偏差 偏差 干涉光强分布
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偏振光干涉强度到椭圆偏振光电矢量的变换
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作者 倪重文 是度芳 《光电子技术与信息》 2005年第6期10-12,共3页
在偏振光实验中,测量量是偏振光干涉光强分布,而最后要表示的是椭圆偏振光电矢量。研究了偏振 光干涉与椭圆偏振光电矢量之间的转换关系,解决了椭圆偏振光电矢量的测量问题。
关键词 偏振干涉 干涉光强分布 椭圆偏振电矢量
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扩展光源照明下的杨氏双缝干涉场分析
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作者 丁文革 安泽尧 +1 位作者 张荣香 代秀红 《物理与工程》 2019年第S1期92-96,110,共6页
首先利用波的叠加与干涉理论,分别给出单色和复色扩展光源照明时杨氏双缝干涉场的强度分布公式,然后利用Matlab软件,模拟分析不同参量下单色和复色扩展光源干涉场的强度分布及其干涉条纹衬比度的变化规律。结果表明,在单色扩展光源照明... 首先利用波的叠加与干涉理论,分别给出单色和复色扩展光源照明时杨氏双缝干涉场的强度分布公式,然后利用Matlab软件,模拟分析不同参量下单色和复色扩展光源干涉场的强度分布及其干涉条纹衬比度的变化规律。结果表明,在单色扩展光源照明情况下,当光源宽度增加时,干涉场的背景光强变大,干涉条纹衬比度下降,直至光场变为均匀分布,即条纹衬比度变为零。之后光强又出现从极大到极小的周期性变化,但条纹衬比度很小。当双缝间距增加时,干涉场的变化趋势与扩展光源宽度增加时类似。当光源与双缝屏之间的距离增加时,条纹衬比度呈振荡式增大,并最终趋近于一定值。在复色扩展光源照明的情况下,光强分布一般较复杂,但选取合适的参量,仍可获得由极大到极小周期性变化的干涉场。 展开更多
关键词 杨氏实验 扩展 干涉光强分布 干涉条纹衬比度
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两束部分偏振光的干涉场分析 被引量:1
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作者 丁文革 李文博 《大学物理》 2019年第1期20-24,共5页
从波的叠加与干涉的基础理论出发,给出了当两束部分偏振光的一个光强极值方向平行时,其干涉场的光强分布和干涉条纹衬比度表达式.该表达式可应用于自然光、线偏振光和由二者组成的部分偏振光参与的干涉过程.在此基础上,对线偏振光与线... 从波的叠加与干涉的基础理论出发,给出了当两束部分偏振光的一个光强极值方向平行时,其干涉场的光强分布和干涉条纹衬比度表达式.该表达式可应用于自然光、线偏振光和由二者组成的部分偏振光参与的干涉过程.在此基础上,对线偏振光与线偏振光、自然光与自然光、线偏振光与自然光等不同偏振态光叠加时的干涉场进行了具体分析,给出了其相应干涉场的光强分布及其干涉条纹衬比度的具体表达式,得到的结果对识别前述各种偏振态光形成的干涉场以及提高干涉仪中相应干涉场的干涉条纹衬比度具有重要意义. 展开更多
关键词 部分偏振 干涉分布 干涉条纹衬比度
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光纤微机电压力传感器的设计 被引量:2
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作者 李明 王鸣 +1 位作者 王婷婷 聂守平 《南京师范大学学报(工程技术版)》 CAS 2004年第4期20-24,共5页
设计了一种基于微机电系统 (MEMS)的光纤压力传感器 ,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里珀罗腔的理论模型进行解释 .推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与干涉光强的关系表达式 .并且对光纤MEMS压力传感器... 设计了一种基于微机电系统 (MEMS)的光纤压力传感器 ,证明了光纤MEMS压力传感器在工作状态下可以由法布里珀罗腔的理论模型进行解释 .推导出光纤MEMS压力传感器中硅横膈膜受到的压力与干涉光强的关系表达式 .并且对光纤MEMS压力传感器的模型进行数值模拟 ,得到了传感器制作过程中涉及到的各个物理量的取值 ,其中腔体半径为 3 0 0 μm、腔体深度为 2 .42 μm、硅横膈膜厚度为 2 3 μm .该设计为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论基础 . 展开更多
关键词 集成 纤MEMS压力传感器 数值模拟 干涉光强
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白光反射谱测薄膜厚度实验
6
作者 刘滢滢 柯伟平 +1 位作者 董占民 高红 《仪器仪表标准化与计量》 2008年第1期45-46,共2页
本实验利用白光的反射谱来测薄膜的厚度,利用单色仪测量不同波长光的干涉光强度,把对条纹的测量转变为对不同波长干涉光强度的测量,既可以手动也可以利用数据采集系统自动采集和处理数据,使操作和测量更加简洁方便。
关键词 单色仪 反射谱 干涉光强
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光纤电流互感器光路故障自诊断告警算法 被引量:12
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作者 郭金刚 司磊 +3 位作者 袁志军 林海丹 石海鹏 敖明 《电力系统自动化》 EI CSCD 北大核心 2018年第21期172-177,共6页
介绍了全光纤电流互感器工作原理及光路告警原理,提出并实现光纤电流互感器干涉光强调制解调算法。在调制偏置波形的基础上,引入周期性误差量δ,通过解调算法有效解调出干涉光强大小。测试表明,干涉光强的解调能够有效反映出光纤电流互... 介绍了全光纤电流互感器工作原理及光路告警原理,提出并实现光纤电流互感器干涉光强调制解调算法。在调制偏置波形的基础上,引入周期性误差量δ,通过解调算法有效解调出干涉光强大小。测试表明,干涉光强的解调能够有效反映出光纤电流互感器光路衰减、偏振态劣化、突然断裂等故障,同时误差量δ的引入并不影响原来电流大小、调制器误差量ε的解调,光纤电流互感器闭环系统仍然能够在-40℃~+70℃范围内,保持GBT20840.8标准0.2级准确度。实验结果证明了所述方法的正确性。 展开更多
关键词 纤电流互感器 干涉光强 路故障告警 调制解调方法
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瞄准指示器光路设计
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作者 廖建平 郭立忠 +1 位作者 赵艳琴 田艳玲 《航空计测技术》 2003年第5期12-13,26,共3页
介绍了瞄准指示器的光路设计原理 ,着重讲述分光镜的设计原理 ,并对干涉场光强分布进行了简单推导 ,给出了瞄准测量的判断依据。
关键词 瞄准指示器 路设计 干涉 转速测量
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基于视觉反馈的近场微型飞行头定位系统
9
作者 王亮 李玉和 李庆祥 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2006年第10期23-24,41,共3页
近场光存储方案中,头盘间距动态测控技术是将近场光存储理论和技术实用化的一项关键技术。基于强度干涉原理的飞高检测方案中,微型飞行头位姿控制是影响测量误差的一项关键因素。提出一种基于视觉反馈的定位控制系统,重点介绍其系统结构... 近场光存储方案中,头盘间距动态测控技术是将近场光存储理论和技术实用化的一项关键技术。基于强度干涉原理的飞高检测方案中,微型飞行头位姿控制是影响测量误差的一项关键因素。提出一种基于视觉反馈的定位控制系统,重点介绍其系统结构,分析机械控制元件和图像处理算法精度。试验表明,微型飞行头定位系统精度优于11μm,引起飞高检测误差在1nm范围内,满足高精度头盘间距动态测试要求。 展开更多
关键词 飞行高度 干涉 视觉反馈 圆心检测
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The Latest Study of Gravitational Wave Communication System
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作者 Yoshinari Minami 《Journal of Earth Science and Engineering》 2016年第3期164-176,共13页
Gravitational wave is a strain wave of space and this can be also generated by strong magnetic field. The principle of gravitational wave generation using the fluctuation in strain field induced by magnetic field is i... Gravitational wave is a strain wave of space and this can be also generated by strong magnetic field. The principle of gravitational wave generation using the fluctuation in strain field induced by magnetic field is introduced. Using both foregoing gravitational wave generator and gravitational wave detector (i.e. laser interferometric gravitational wave antenna), the gravitational communication system can be possible. This paper introduces its content presented at 20th Annual Lecture (1989) and the research trends in the latest gravitational wave. 展开更多
关键词 Gravitational wave SPACE-TIME CONTINUUM space strain strain wave CURVATURE gravitational wave communication.magnetic field.
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An optical fiber magnetic field sensor based on fiber spherical structure interferometer coated by magnetic fluid
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作者 徐丰田 栾盼盼 +1 位作者 贾科松 张爱玲 《Optoelectronics Letters》 EI 2015年第5期379-381,共3页
A novel magnetic field sensor based on optical fiber Mach-Zehnder interferometer(MZI) coated by magnetic fluid(MF) is proposed. The MZI consists of two spherical structures formed on standard single mode fiber(SMF). T... A novel magnetic field sensor based on optical fiber Mach-Zehnder interferometer(MZI) coated by magnetic fluid(MF) is proposed. The MZI consists of two spherical structures formed on standard single mode fiber(SMF). The interference wavelength and the power of the sensing structure are sensitive to the external refractive index(RI). Since RI of the MF is sensitive to the magnetic field, the magnetic field measurement can be realized by detecting the variation of the interference spectrum. Experimental results show that the wavelength and the power of interference dip both increase with the increase of magnetic field intensity. 展开更多
关键词 spherical interferometer coated cladding detecting refractive magnet grating realized etching
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