干涉光路系统光轴对准度装调方法研究

干涉光路光轴对准度对于干涉光路系统的性能影响重大,是影响干涉光路系统观测、测量、响应等性能的主要因素。本文通过合理搭建光路,使产品装调过程由盲调改为可视化操作。该方法基于干涉光路特性,制造了专用的干涉光路光轴对准度调试和检测工装,实现基准的转换,将原调试方法中不可视和不可测量的量转换为可视、可测量的量,从而变经验式的光轴对准度调试为理论指导下的可视化调试方法。该方法减少了系统装调的工作量,减小了各单体安装基准面变形应力对光轴的影响,达到了提高效率、保证质量、降低售后服务成本的目的。

影响激光外差高精度计量的几个关键因素

共光路外差干涉仪具有很高的分辨率 ,但因为安装、调试误差会产生非线性误差 ,影响系统的测量精度 .所以着重分析了影响激光外差计量精度的 4个关键因素 ,即频率混叠、不同被测金属的相位跳变、被测表面的倾斜及物镜的数值孔径 ;利用激光外差及矢量分析理论 ,深入研究了频率混叠误差和相位跳变误差的成因、变化规律 ,并讨论了提高测量系统精度的有效措施 .对正确设计和调试激光外差测试系统、提高测量系统精度具有重要意义 .