微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌

改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统 ,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差 β 的消零工作提出了一种新的方法 ,实验证明是有效可靠的 ,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究。

应用于干涉显微镜的直线压电作动器

提出了应用于干涉显微镜焦距调节的直线压电叠堆作动器和微动台。介绍了基于三角位移放大原理的压电作动器结构设计,利用ANSYS的APDL语言实现了对作动器钢架结构的建模,并采用Optimus中自带的差分进化算法(DE)对其结构尺寸进行了优化。制作了实验样机,激光干涉实验表明:当驱动电压信号幅值为40～100V时,作动器位移放大倍数可以达到7。最后,将设计的直线作动器作为驱动核心安装在自行设计的微动台上,然后将组成的系统用于光学干涉显微镜。实验显示,整个系统在电压为24～40V,阶梯增量电压为0.8V时,步进分辨率可达23nm,满足干涉显微镜细分干涉条纹所需要的直线位移分辨率的要求。

计量型白光干涉显微镜干涉图像处理技术

为了实现微纳台阶样板表面三维尺寸的快速精确计量,设计了计量型白光干涉显微镜。针对白光干涉显微镜获取的干涉图像,提取表面各测量位置的干涉信号,使用小波变换滤除信号噪声,建立白光干涉信号数学模型,使用Hilbert提取干涉信号的包络曲线,从干涉图像中解调出被测样品表面的三维形貌信息。对标称值为281 nm和4 430 nm的台阶样板进行了测量,测量标准差为0. 8 nm和7. 9 nm,相对示值误差为0. 6%和0. 4%,实验结果表明:Hilbert变换算法能够快速精确地解算出表面相对高度,具有较高的运算效率和运算精度。

用干涉显微镜测量薄膜厚度的分析

分析了国产６ＪＡ型干涉显微镜测量薄膜厚度所产生的误差。

双波长干涉显微镜波长的双约束标定

作为测量的精度来源,双波长干涉显微镜的光波长需要精确标定以溯源至长度基准。本文提出了一种基于两个光波长之间关系、波长与长度基准之间约束的标定方法。理论分析得到了表面重构误差与波长误差之间的关系,认为表面跳变与高度对两个光波长具有足够的约束自由度,并基于理论分析提出了一种双约束的标定方法。该方法通过测量斜平面与标准高度台阶,分别约束了两个光波长之间的比例关系与算术关系,然后通过求解两个约束关系能够确定光波长。仿真结果表明,双约束标定波长的精度可达到0.1 nm。经过本文方法标定的双波长干涉显微镜,测量微沟槽深度的精度可达到0.5 nm。本文标定方法仅需一块标准高度台阶,为干涉显微镜提供了一种简单的高精度波长标定方法,并可以推广应用于双波长数字全息、三波长干涉等技术。

干涉显微镜测量小球面曲率半径

研究了一种由单幅静态干涉图测量球面曲率半径的方法。针对小曲率半径(R<50 mm)的球面,用林尼克干涉显微镜得到被测球面的静态干涉图。基于阻尼最小二乘法,拟合干涉条纹的光强曲线,得到被测小球面面形的多项式表达式,并由此计算出被测件的曲率半径。讨论了算法初值的选取方法,验证了算法精度并分析了误差因素。对比实验表明,本方法的与其他测试方法取得的结果相吻合。

干涉显微镜在超精密测量中的应用

介绍了干涉显微镜测量原理、仪器结构、空间分辨率和测量范围,分析了测量误差产生的原因,通过实验表明:干涉显微镜能够比较真实地反映超光滑表面微观形貌特征。

基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜的改造

介绍了一种基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜改造的总体方案、系统测量原理、仪器结构，以及对标准样板及圆柱零件的测试结果。该测量系统已对本科生和研究生开出实验并投入实用，其垂直分辨率为2nm，横向分辨率为0．3μm，垂直扫描范围为80μm。

表面微观形貌的显微干涉检测原理及干涉显微镜发展现状

追踪分析世界上表面微观形貌检测方面显微干涉检测原理的最新进展 ,比较干涉显微镜用于检测表面微观形貌时具有的形式、结构特点 ,分析选型研制干涉显微镜可能遇到的问题及应该研究的方面。

用干涉显微镜测定纤维双折射率的方法研究

本文介绍干涉显微镜测量各种纤维折射率、双折射率的原理、仪器结构、测试方法及有关技术。

6J 型干涉显微镜测量表面粗糙度的 CAI 软件设计

充分运用ＶＩＳＵＡＬＢＡＳＩＣ的强大图形及界面功能，实现了６Ｊ干涉显微镜测量表面粗糙度的计算机模拟，使该项的实验教学更加生动直观，改善了实验教学效果．

相移干涉显微镜中移相误差分析

本文具体分析了影响移相误差的多种因素，比较了在不同移相术中移相误差量对检测精度的影响，从而论证了五步移相术的合理性和利用压电陶瓷微位移传感器的现有定位精度实现０．１ｎｍ级检测精度的可行性。文中还给出了有关的数值计算结果和测试结果，并就有关问题进行了讨论。

用干涉显微镜测量薄膜厚度的改进与分析

将干涉显微镜的应用推广到透明薄膜厚度的测量,扩展了干涉显微镜的测量范围和应用领域.基于菲涅耳公式,分析了透明薄膜界面的反射.根据白光干涉原理,利用圆形样品台的定量移动,实现了薄膜厚度的测量.

用于瞬态微观轮廓检测的Mirau偏振干涉显微镜

基于PZT移相的传统Mirau干涉显微镜存在采样时间间隔长、易受外界环境扰动影响以及对比度不可调等问题,提出了用于瞬态微观轮廓检测的Mirau偏振干涉显微镜。系统利用线栅偏振片作为偏振分束器,实现偏振分光和条纹对比度的可调,以满足不同反射率被测对象的检测需求;利用偏振相机瞬时获取四幅偏振相移干涉图,可有效降低外界环境扰动影响。对系统采用的偏振元件进行了建模分析,得到实际的偏振像差分布,并将其作为系统误差予以剔除。同时针对偏振相机存在的视场误差,研究了基于相位插值的视场误差校正方法。通过分析系统中各个器件特性对测量结果精度的影响,提出相应的误差校正方法。对所提出的Mirau偏振干涉显微镜的精度和可行性进行了实验论证,实验结果表明,其测量精度优于1/100λ,重复性精度优于0.1 nm。该测量系统具有对比度可调、瞬态测量以及结构紧凑等优点,为各类元件表面微观轮廓以及微小结构的在线检测提供了一种可行方法。

用干涉显微镜测量离子镀反射薄膜的厚度

本文指出,用干涉显微镜可以测量离子镀薄膜的厚度。本文介绍了测量的方法,并说明这种方法的优点。

相差显微镜与干涉显微镜的比较

目的：探讨透明细胞组织的最佳观察法。方法：通过两种显微镜成像原理阐述和比较，明确透明体在其中成象的特点。结果：相差显微镜成像有晕圈，干涉显微镜成像似浮雕。结论：应针对透明标本细节的尺度和类型合理选择显微镜。

使用干涉显微镜的几点体会

干涉显微镜是基于光波干涉原理测量精密加工表面光洁度的仪器,对不太熟悉此种仪器的使用者,常不易得到清晰的图象。本文介绍使用中的几点体会,供参考。

探析微分干涉显微镜在珠宝鉴定中的应用

珠宝鉴定过程中,使用微分干涉显微镜能够实现无损检测。在显微镜下观察珠宝外观特点,是否存在缺陷。本文对微分干涉显微镜的使用原理进行简单介绍,同时分别从判断宝石生长特点、显示珠宝精细结构、确定宝石外表其他特征、分析宝石成分等方面阐述此显微镜在珠宝鉴定领域内的具体应用,以期为该领域的从事人员提供建议和参考。

扫描干涉显微镜ZNA—W1510

上海宙山精密光学仪器有限公司生产的扫描干涉显微镜ZNA—W1510．是利用光的干涉现象测量精密加工零件表面三维形貌的仪器。其高度方向（Z轴）的分辨率为0．1纳米．属纳米级测量显微镜．又可称为纳米显微镜、三维形貌测量显微镜或白光干涉仪。