扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法

扫描干涉场曝光系统中的干涉条纹周期是相位锁定系统的重要参数,为精确测量干涉条纹周期,根据扫描干涉场曝光系统的特点提出了分束棱镜移动测量干涉条纹周期的方法,根据高斯光束传播理论,分析了该方法的理论误差;提出了周期计数法对周期测量数据进行计算。为降低对系统二维工作台运行及稳定精度的要求,提出了小行程高精度位移台辅助测量周期的方法,并进行了相关实验验证。结果表明:小行程位移台辅助周期测量方法在原理上可行,对于干涉条纹线密度1800 line/mm的系统参数,小行程位移台辅助周期测量的重复性可达到1.08×10-5(σ值),曝光实验的实测值与理论模型之间一致性较好,验证了该周期测量方法的可行性。

干涉直条纹周期测量及其在位相检测中的应用

干涉条纹周期是干涉精密测量中的一个较为重要的参数。为了可以简单快速而不失准确性地测量条纹周期,采用了图像处理实现干涉条纹周期测量的较为简单实用的算法。通过MATLAB平台设计相应的图像数据处理软件,分析影响条纹周期测量精度的因素,给出处理过程对条纹倾斜度的要求,并应用于相板的位相的定量检测,获得了相板的位相大小。结果表明,测量相位精度达λ/20～λ/50或π/10～π/25。这一结果对位相物体的厚度和折射率的测量有很大的帮助。

用光电二极管列阵测干涉条纹周期的精度分析

分析了用1024单元的光电二极管列阵测量干涉条纹周期时,采样密度对测量精度的影响.采样数据的量化为256,每个干涉条纹的采样点数从10至30左右时,测量精度最高,可优于2×10^(-5).量化小时,最佳采样密度变小.

数字散斑剪切干涉光学测距

概述了一种新的数字散斑剪切干涉光学测距方法 :利用条纹细锐化方法求出干涉条纹周期 ,从而根据周期与距离的关系得到距离 .该项技术适用于测量漫反射目标 ,对环境噪声的干扰具有相对低的敏感性 .实验结果证明了该测距方法的正确性 .

数字散斑剪切干涉光学测距

提出数字散斑剪切干涉测量原理。结合干涉条纹细锐化技术 ,在计算机上对散斑数据帧进行处理得到细锐化条纹图形 ,从图形中得到条纹周期 ,根据周期计算出被测目标距离。测量的范围可以随着光源的位移进行调节。实验结果表明 ,当平面漫反射物体距扩束透镜 5 6 .5 mm时 ,该法测得距离为 5 6 .9m m,有 0 .71%的偏差。当光源位移 5 0 mm时 ,该法测得的距离为 5 6 9.3mm,与尺子测得的距离 5 6 5 mm相差 0 .80 %。当距离达 10 0 0 m m时 ,难以测定条纹周期。该方法特别适用于对漫反射物体距离的测量 。

激光Doppler测流系统中光学参数的确定

本文着重讨论了双光束条纹型激光多普勒测流系统中,光学分束系统参数与散射信号的关系,列出了有关的公式。计算了园形截面的散射颗粒直径与干涉条纹周期呈不同比值时对信号的影响,其结果与以前采用矩型截面进行计算的结果差异较大。以设计一台激光海流计为例,推荐一种以选择与散射粒径相匹配的条纹周期为出发点的光学参数选择方法。最后介绍作者提出的为实现这种选择的光学布置。