溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜

以醋酸钡、醋酸锶和钛酸四丁酯为原料,异丙醇、水为溶剂,冰醋酸作催化剂,采用溶胶-凝胶法在氧化铝陶瓷基片上制备钛酸锶钡铁电薄膜.用差热分析、红外光谱分析和X-射线衍射分析,确定了薄膜的热处理工艺;采用逐层热处理方式获得Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.研究表明:在溶胶制备过程中加入一定量的干燥化学控制添加剂、采用逐层热处理工艺、降低升温速率以及增加保温时间,能够有效防止薄膜开裂;X-射线衍射分析结果显示,所制备的Ba0.5S0.5TiO3薄膜呈钙钛矿结构;SEM观察结果显示薄膜结晶完善,致密无开裂.