干表面处理装置及其处理方法

一种干表面处理装置，包括位于处理室内的表面处理材料供料器和有多孔外壁的、用于装入工件的管筒，在该水平设置的管筒绕水平转动轴线转动的同时对工件的表面进行处理，其中上述管筒具有阻止装入的工件由于管筒的转动而沿管筒内壁滑动的防滑件。按照本发明的干表面处理装置可对工件相对的两个表面形成均匀的沉积膜或进行均匀的表面处理。