利用平板炉校准辐射热流计时角系数影响的分析

平板炉用于校准辐射热流计。标准辐射热流计和被校辐射热流计分别放置在石墨平板两侧,且角系数保持一致。辐射热流计受热感应面对平板的角系数,可认为是圆盘对与它平行的矩形的角系数,并以此进行计算。本文分析了辐射热流计至平板的距离、受热感应面面积对角系数的影响。

平板炉生产粉状活性炭

利用平板炉生产粉状活性炭是以氯化锌或磷酸作活化剂,因此也称作化学法。该类产品出于具有独特的孔隙结构和表面基团,足够的物理和化学稳定性,在国民经济各个领域有着广泛的用途。主要用于糖类、氨基酸、油脂、制药、味精、化工等的脱色、精制、除臭;医用大输液和注射液的去除致热源;饮用水、饮料、制酒、水质的净化。

平板玻璃炉窑脱硝除尘工艺的几个典型问题分析

通过对石家庄某平板玻璃炉窑脱硝除尘工艺的工程应用实践,就平板玻璃炉窑脱硝除尘系统中出现的几个典型问题进行具体分析,对高温电除尘系统和低粉尘SCR系统在工程实践上的遇到的问题提出相应对策,使工艺得到进一步完善,为系统正常调试、运行提供可靠保证,同时为平板玻璃炉窑脱硝除尘工艺的工程应用实践提供参考。

平板式外延炉大尺寸硅外延层的均匀性调控

随着现代电子技术的飞速发展,电子元件的精细化程度也不断提高,加工工艺水平直接决定了电子元件的性能。本文结合平板式外延炉大尺寸硅外延层的均匀性调控展开研究,通过实验方法阐述150mm大尺寸硅抛光片硅外延层特征,分别展开厚度均匀性、电阻率均匀性两大部分的调控方法总结。

叠式板型炉磷酸法工业化生产活性炭

本文介绍以磷酸为活化剂的磷酸法化学活性炭工业化生产工艺、技术、设备及特点；探讨磷酸法活性炭生产的主要理论与关键技术；阐明磷酸法较氯化锌法的明显优势；证实磷酸法板炉生产活性炭的可行性和污染轻、取代氯化锌法的必要性。

200 mm超厚层IGBT用硅外延片滑移线控制

重点探究了直径200 mm超厚层硅片滑移线的影响因素以及控制方法。使用平板硅外延炉加工超厚层外延片,并使用颗粒测试仪SP1和光学干涉显微镜表征滑移线。从热应力是滑移线的主要成因出发,通过对衬底和基座背面凹槽的设计以及升温曲线的控制这三个方面改善了滑移线。结果表明,随着衬底倒角背面幅长和基座背面凹槽深度的增加,外延片的滑移线长度均呈现先减小后增大的趋势。衬底倒角最佳背面幅长为500μm,基座背面凹槽的最佳深度为0.80 mm。同时,在873 K下恒温3 min的升温工艺可以减少厚层硅外延片的滑移线。