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非接触式激光平面检测系统
被引量:
8
1
作者
李雪宝
许骏
+1 位作者
邓林华
宋腾飞
《现代电子技术》
2010年第3期134-136,146,共4页
传统的接触式平面检测精度低、稳定性差及对对象物检测条件要求苛刻,已逐渐被现代非接触式平面检测所替代。非接触式激光平面检测系统以其高精度、高分辨率及不受对象物材质、颜色或倾斜度的影响等优点,可对任何对象物进行平面检测。介...
传统的接触式平面检测精度低、稳定性差及对对象物检测条件要求苛刻,已逐渐被现代非接触式平面检测所替代。非接触式激光平面检测系统以其高精度、高分辨率及不受对象物材质、颜色或倾斜度的影响等优点,可对任何对象物进行平面检测。介绍系统结构和激光位移传感器的工作机理,并进行平面定性检测和定量检测试验,用OpenGL绘制及拟合三维曲面。试验结果表明,该系统平面检测结果较好地反映出对象物平面起伏情况,并且达到系统的精度要求。
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关键词
激光位移传感器
非接触式平面检测
平移台控制
OPENGL
三维拟合曲面
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职称材料
题名
非接触式激光平面检测系统
被引量:
8
1
作者
李雪宝
许骏
邓林华
宋腾飞
机构
中国科学院国家天文台云南天文台
出处
《现代电子技术》
2010年第3期134-136,146,共4页
文摘
传统的接触式平面检测精度低、稳定性差及对对象物检测条件要求苛刻,已逐渐被现代非接触式平面检测所替代。非接触式激光平面检测系统以其高精度、高分辨率及不受对象物材质、颜色或倾斜度的影响等优点,可对任何对象物进行平面检测。介绍系统结构和激光位移传感器的工作机理,并进行平面定性检测和定量检测试验,用OpenGL绘制及拟合三维曲面。试验结果表明,该系统平面检测结果较好地反映出对象物平面起伏情况,并且达到系统的精度要求。
关键词
激光位移传感器
非接触式平面检测
平移台控制
OPENGL
三维拟合曲面
Keywords
laser displacement sensor
non - contact flatness measurement
control of X - Y stage
OpenGL
3 - D fittingcurved surface
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非接触式激光平面检测系统
李雪宝
许骏
邓林华
宋腾飞
《现代电子技术》
2010
8
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职称材料
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