激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究

在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一。提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性。利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速系统的结构进行优化。同时,利用神经网络改善锁相环系统的非线性特性,并采用模糊参数自调整方法调节控制器的参数。结果表明使用机电混合滤波器可使主轴的轴向与径向振动小于20nm,采用改进的锁相环控制可大大提高主轴的调速范围,并改善其动态性能。

液压马达超低速平稳驱动控制方案的设计

测试摆动式液压马达起动摩擦特性需要对其转子轴施加平稳、超低速驱动。本文设计了一种Ｉ—ＰＤ调节器，实现了马达的低速平稳驱动。与ＰＩＤ调节器的控制性能相比，Ｉ—ＰＤ调节对扰动的响应更快，具有较好的鲁捧性，满足被测马达摩擦特性测试的驱动性能要求。

一种科氏流量计的改进驱动电路研究

稳定振动的流量管保证着科氏流量计流量测量的准确性,而维持流量管振动的关键是流量计驱动电路。现阶段科氏质量流量计模拟驱动存在一种驱动电路驱动一种型号一次仪表、电路离散元器件繁多、驱动信号幅值不稳定等问题,从而导致流量管振动不稳定,影响流量计算。针对其问题,改进模拟驱动电路,由VCA810和OPA820集成芯片组成的自动增益模块替代离散元器件组成的增益电路,由以TDA2030为核心芯片的集成功放模块代替原有功率放大电路。在驱动电路中,可调整增益模块稳幅单元来改变输出信号幅值,使驱动电路满足不同一次仪表对功率的需求,从而实现驱动多种型号一次仪表的功能。对所研发试验级驱动电路进行测试,实验结果表明所研发驱动电路可以驱动不同型号一次仪表,起振时间满足实际工况需求。