使用平行束软X光透镜的深亚微米X射线光刻

使用本实验室研制的整体平行束软Ｘ光透镜作为准直器和电子枪软Ｘ光源相配，作成了平行束软Ｘ光源，用此平行束软Ｘ光源进行了深亚微米Ｘ射线光刻实验．刻出了１．０μｍ～０．２μｍ的线条．文中对实验装置和光刻结果作了简要的介绍。