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平行缝焊微电子器件的光学检漏
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作者 张泽丰 徐达 +2 位作者 谭亮 魏少伟 马紫成 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第3期285-291,共7页
光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测... 光学检漏为非接触式封装漏率测量方法,且单次测试可同时完成粗检及细检,是一种快速的封装检漏技术。对光学检漏与氦质谱检漏的漏率计算公式进行了详细分析和对比。设计了多组实验探究如工装翘曲度、封装内空腔体积等因素对光学检漏检测结果的影响,分析了光学检漏的“充压”问题并给出解决方案,对比了光学检漏与氦质谱检漏的检测漏率。分析了光学检漏技术的优缺点,并通过实验验证了光学检漏的可行性及可靠性,为微电子器件的光学检漏应用提供参考。 展开更多
关键词 微电子器件 光学检漏 平行缝焊 密封 氦质谱检漏
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金属盖板镀层形貌对平行缝焊器件抗盐雾性能的影响
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作者 马明阳 曹森 +2 位作者 杨振涛 张世平 欧彪 《电子与封装》 2024年第4期30-35,共6页
气密性封装是高可靠集成电路制造的关键技术。探讨了金属盖板表面镀层形貌对平行缝焊器件耐盐雾性能的影响。研究发现,平行缝焊后金属盖板表面出现的贯穿性裂纹是降低平行缝焊器件耐盐雾性能的关键因素。在相同封帽参数下,表面镀层为长... 气密性封装是高可靠集成电路制造的关键技术。探讨了金属盖板表面镀层形貌对平行缝焊器件耐盐雾性能的影响。研究发现,平行缝焊后金属盖板表面出现的贯穿性裂纹是降低平行缝焊器件耐盐雾性能的关键因素。在相同封帽参数下,表面镀层为长条形晶胞的盖板封帽后出现多条贯穿性裂纹,无法通过24 h盐雾试验后气密性检测。而表面镀层为均匀大小的圆形晶胞的盖板具备更高的抗封帽裂纹能力,封帽后无贯穿性裂纹出现,且可通过48 h盐雾试验后气密性检测。 展开更多
关键词 封装 平行缝焊 金属盖板 镀层形貌 盐雾试验 气密性检测
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平行缝焊工艺对陶瓷外壳可靠性的影响研究
3
作者 程理丽 《电子质量》 2023年第10期88-93,共6页
平行缝焊作为一种高可靠性的气密性密封方法,在陶瓷封装领域的应用愈发重要。采用有限元分析软件对薄壁类陶瓷外壳在平行缝焊工艺过程中的热效应进行了仿真分析,主要研究了平行缝焊工艺过程中的参数对陶瓷外壳热效应的影响,分析了不同... 平行缝焊作为一种高可靠性的气密性密封方法,在陶瓷封装领域的应用愈发重要。采用有限元分析软件对薄壁类陶瓷外壳在平行缝焊工艺过程中的热效应进行了仿真分析,主要研究了平行缝焊工艺过程中的参数对陶瓷外壳热效应的影响,分析了不同平行缝焊参数组合下外壳的热应力分布状态,为薄壁类外壳的封口可靠性提供了依据。通过多批次封口试验对仿真结果进行了验证,结果表明试验结果与仿真结果基本一致,实现了薄壁类外壳平行缝焊后满足封口可靠性试验要求,并形成了工艺规范,用以指导薄壁类外壳封口工艺。 展开更多
关键词 陶瓷外壳 平行缝焊 可靠性 热仿真
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基于焊接数据分析的平行缝焊缺陷检测方法
4
作者 王伟乾 张慧俊 白晋铭 《电子工艺技术》 2023年第1期57-60,共4页
平行缝焊是一种用于对露点和气密性要求较高的微电子单片集成电路管壳进行气密性封装的封装工艺。影响缝焊质量的因素有很多,因此有多种针对平行缝焊缺陷检测的手段,通常是经过显微镜目检,氦质谱检漏和氟油粗检三种检测方式。通过对不... 平行缝焊是一种用于对露点和气密性要求较高的微电子单片集成电路管壳进行气密性封装的封装工艺。影响缝焊质量的因素有很多,因此有多种针对平行缝焊缺陷检测的手段,通常是经过显微镜目检,氦质谱检漏和氟油粗检三种检测方式。通过对不同焊接问题反馈的焊接数据进行数据分析,提出一种基于焊接数据分析的平行缝焊缺陷检测,可以有效提高缺陷检测的准确率和效率。 展开更多
关键词 平行缝焊 接数据分析 缺陷检测
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基于低噪声放大器的平行缝焊质量控制方法
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作者 杨宁宁 田英 +3 位作者 梅骏修 陈乙玮 刘国玮 韩立昌 《航天制造技术》 2023年第1期22-25,共4页
平行缝焊是陶瓷类管壳的主要封装形式,也是微组装产品的最后一道生产工序。因此,缝焊后的质量不仅要求产品具有低漏率值的焊接气密性,同时也需要具有良好的焊接结合力和外观形貌来保障内部裸芯片的功能稳定性以及产品后续的环境考核达... 平行缝焊是陶瓷类管壳的主要封装形式,也是微组装产品的最后一道生产工序。因此,缝焊后的质量不仅要求产品具有低漏率值的焊接气密性,同时也需要具有良好的焊接结合力和外观形貌来保障内部裸芯片的功能稳定性以及产品后续的环境考核达标。文章主要以解决影响缝焊质量的电极打火问题为基础,分别从夹持产品的工装结构设计、缝焊盖板的表面洁净度控制、缝焊工艺参数设置三方面进行分析,并提出降低电极打火的有效缝焊质量控制方法。 展开更多
关键词 平行缝焊 电极打火 质量
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基于平行缝焊工艺的AuSn合金焊料封盖技术研究 被引量:5
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作者 李茂松 欧昌银 +4 位作者 陈鹏 赵光辉 胡琼 黄大志 朱虹姣 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期349-353,共5页
为了解决聚合物粘结电路的质量与长期可靠性问题,提出了一种采用平行缝焊工艺对AuSn合金焊料熔封器件进行封盖的新方法。通过对平行缝焊工艺的深入研究,解决了该类器件封盖的气密性与外观质量问题,从而找到了一种有效解决熔封外壳组装... 为了解决聚合物粘结电路的质量与长期可靠性问题,提出了一种采用平行缝焊工艺对AuSn合金焊料熔封器件进行封盖的新方法。通过对平行缝焊工艺的深入研究,解决了该类器件封盖的气密性与外观质量问题,从而找到了一种有效解决熔封外壳组装的低温聚合物粘结电路水汽含量、抗剪强度、键合强度控制的新方法。 展开更多
关键词 封装 水汽控制 平行缝焊 气密性 合金封盖
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平行缝焊工艺抗盐雾腐蚀技术研究 被引量:10
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作者 李茂松 何开全 +1 位作者 徐炀 张志洪 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期465-469,共5页
抗盐雾腐蚀是提高集成电路封装可靠性的重要手段之一。根据金属腐蚀机理,通过优化封焊工艺和AuSn合金焊料平行缝焊封盖工艺,以及在封盖后再次进行电镀修复损伤等措施,提高了平行缝焊集成电路的抗盐雾腐蚀能力。
关键词 集成电路封装 抗盐雾腐蚀 平行缝焊
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电极对平行缝焊的影响 被引量:12
8
作者 肖清惠 杨娟 +1 位作者 赵洋立 侯正军 《电子与封装》 2012年第9期6-9,共4页
平行缝焊作为电子元器件的主要封盖方式之一,普遍用于对水汽含量和气密性要求较高的集成电路封装中。影响平行缝焊的因素很多,如夹具的设计、盖板与管座的匹配、电极表面的状态、工艺参数的设置等。文章通过在SSEC(Solid State Equipmen... 平行缝焊作为电子元器件的主要封盖方式之一,普遍用于对水汽含量和气密性要求较高的集成电路封装中。影响平行缝焊的因素很多,如夹具的设计、盖板与管座的匹配、电极表面的状态、工艺参数的设置等。文章通过在SSEC(Solid State Equipment Company)M-2300型平行缝焊机上进行实验,分别从电极的材料、电极的角度、电极表面的光洁度和电极的位置等方面总结出电极的状态对平行缝焊成品率的影响,并提出有效的改进方法。 展开更多
关键词 封装 平行缝焊 电极
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平行缝焊与盖板 被引量:7
9
作者 侯正军 宋备刚 丁鹏 《电子与封装》 2008年第8期1-4,8,共5页
在一些特殊环境条件下使用的各种电子元器件,需要进行密封封装,以防止器件中的电路因潮气、大气中的离子、腐蚀气氛的浸蚀等引起失效。另外在封装时可以充以保护气体来降低封装环境湿度,进行气密性封装以延长器件的使用时间。文章通过在... 在一些特殊环境条件下使用的各种电子元器件,需要进行密封封装,以防止器件中的电路因潮气、大气中的离子、腐蚀气氛的浸蚀等引起失效。另外在封装时可以充以保护气体来降低封装环境湿度,进行气密性封装以延长器件的使用时间。文章通过在SSEC(Solid State Equipment Company)M-2300型平行缝焊机上进行缝焊实验发现,盖板与平行缝焊的关系是相当重要的。在管座性能稳定的情况下,盖板质量的好坏直接影响着器件的气密性。 展开更多
关键词 平行缝焊 气密性 盖板 蚀刻盖板
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平行缝焊机的阵列焊设计 被引量:4
10
作者 冯哲 李晓燕 +2 位作者 刘晓东 杜虎明 刘畅 《电子工艺技术》 2010年第6期365-368,共4页
在电子设备的使用中,会遇到各种苛刻环境条件,如潮湿、酸雨和盐雾等。在这种情况下,器件可能因电化学腐蚀而缓慢失效,也可能因水汽渗入而性能劣化。因此,对器件进行性能优良的气密性封装,有效保护器件免受外界环境的影响至关重要。平行... 在电子设备的使用中,会遇到各种苛刻环境条件,如潮湿、酸雨和盐雾等。在这种情况下,器件可能因电化学腐蚀而缓慢失效,也可能因水汽渗入而性能劣化。因此,对器件进行性能优良的气密性封装,有效保护器件免受外界环境的影响至关重要。平行缝焊是最常用的气密性封装方法之一,属于电阻焊。传统的平行缝焊设备单个焊接效率低下,为了提高焊接效率,提出了带阵列焊功能的平行缝焊机。 展开更多
关键词 阵列 平行缝焊 微电子组装
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气密性平行缝焊技术与工艺 被引量:11
11
作者 王贵平 李晓燕 《电子工艺技术》 2014年第1期42-44,共3页
气密性封焊的产品因其杰出的可靠性被广泛应用于军事应用。与储能焊、激光焊相比,平行缝焊具有可靠性高、密封性能优越、运行成本低及生产率高等特点,是微电子器件最常用的气密性封装方法之一。主要阐述了气密性平行缝焊技术与工艺,并... 气密性封焊的产品因其杰出的可靠性被广泛应用于军事应用。与储能焊、激光焊相比,平行缝焊具有可靠性高、密封性能优越、运行成本低及生产率高等特点,是微电子器件最常用的气密性封装方法之一。主要阐述了气密性平行缝焊技术与工艺,并对焊接工艺参数进行了详细分析,同时给出了气密性检测要求及针对性措施。 展开更多
关键词 平行缝焊 气密性 封装
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影响平行缝焊成品率的因素 被引量:9
12
作者 陈玉华 侯正军 《电子与封装》 2003年第4期28-31,共4页
对于一些在特殊环境下使用的光电器件,需要进行密封,以防止器件中的电路模块因潮气、大气中的离子、腐蚀气氛等引起失效而对器件进行隔离、降低湿度、充以保护气体等来延长器件的使用时间。本文通过在SSEC(Solid State Equipment Compan... 对于一些在特殊环境下使用的光电器件,需要进行密封,以防止器件中的电路模块因潮气、大气中的离子、腐蚀气氛等引起失效而对器件进行隔离、降低湿度、充以保护气体等来延长器件的使用时间。本文通过在SSEC(Solid State Equipment Company)M-2300型平行缝焊机上进行了实验总结,结果发现:对于夹具的设计、电极的位置、盖板与管座的匹配、封装工作参数等直接影响着平行缝焊的成品率。 展开更多
关键词 封装 平行缝焊 成品率
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平行缝焊壳体温升影响研究 被引量:3
13
作者 徐炀 李茂松 倪乾峰 《电子与封装》 2015年第9期10-13,共4页
在微电子器件密封工艺中,平行缝焊气密性焊接过程的热冲击导致器件质量问题是一种比较常见的现象。为了量化分析缝焊温度与焊接参数、封装外壳形式的关系,提出了一种采用AD590温度传感器芯片定量测试器件内腔温度变化情况的新方法。针... 在微电子器件密封工艺中,平行缝焊气密性焊接过程的热冲击导致器件质量问题是一种比较常见的现象。为了量化分析缝焊温度与焊接参数、封装外壳形式的关系,提出了一种采用AD590温度传感器芯片定量测试器件内腔温度变化情况的新方法。针对测试的温度数据,根据其规律性开展工艺优化试验,降低产品在焊接过程中生产的热应力损伤,避免产生质量问题。 展开更多
关键词 平行缝焊 气密性封装 温度效应
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平行缝焊 被引量:4
14
作者 侯正军 陈玉华 《电子与封装》 2004年第2期27-30,共4页
本文阐述了平行缝焊的工作原理及优缺点,介绍了平行缝焊的过程和条件。
关键词 平行缝焊 工作原理 封装技术 电子器件
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基于C#和运动控制卡的全自动平行缝焊机控制系统实现 被引量:1
15
作者 乔丽 闫旭冬 《科技创新与生产力》 2019年第4期70-73,共4页
主要介绍了全自动平行缝焊机的功能和结构,阐述了该设备控制系统的设计方案和实现过程,提出上位机采用工控机、控制程序开发语言采用C#编程语言、下位机采用安川运动控制卡,并重点讨论了上位机和下位机之间的通信方式、下位运动程序的... 主要介绍了全自动平行缝焊机的功能和结构,阐述了该设备控制系统的设计方案和实现过程,提出上位机采用工控机、控制程序开发语言采用C#编程语言、下位机采用安川运动控制卡,并重点讨论了上位机和下位机之间的通信方式、下位运动程序的编写以及软件的结构功能。经过多次试验可知,该设备运行平稳顺畅,预设功能均可实现,上位机与下位机软件配合良好。 展开更多
关键词 控制系统 运动控制卡 C#编程语言 电阻 平行缝焊 全自动平行缝焊
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光MOS固体继电器平行缝焊的工艺研究 被引量:1
16
作者 朱煜 《机电元件》 2012年第6期24-28,47,共6页
本文介绍了光MOS固体继电器的封装结构和平行缝焊对其零部件的工艺要求,着重介绍了平行缝焊的原理及平行缝焊工艺,对于在平行缝焊中存在的问题也进行了分析并提出了相应的解决措施。
关键词 光MOS固体继电器 平行缝焊 工艺
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平行缝焊接方式研究 被引量:5
17
作者 王晓雷 杨卫 姬臻杰 《电子工业专用设备》 2009年第12期49-51,共3页
介绍了平行缝焊的作用与工作原理,阐述了平行缝焊的3种焊接方式。
关键词 平行缝焊 气密性封 阵列
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平行缝焊工艺及成品率影响因素 被引量:3
18
作者 刘艳 曹坤 +1 位作者 程凯 涂传政 《电子与封装》 2006年第3期15-16,20,共3页
工作期间器件表面上凝结的水是导致应用失效的主要原因,平行缝焊是一种有效的气密封装,它能有效地阻止水的有害影响,防止器件性能降低。文章通过实验总结。
关键词 封装 平行缝焊
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浅谈电极对平行缝焊质量的影响 被引量:5
19
作者 姚秀华 刘笛 《电子与封装》 2010年第4期12-14,共3页
伴随着现代微电子技术的高速发展,对温度较敏感的电子元器件在设计中被普遍采用,为了满足这种电子元器件的封装要求,平行缝焊技术应运而生。平行缝焊是一种温升小、气密性高的高可靠性封装方式,普遍用于对水汽含量和气密性要求较高的集... 伴随着现代微电子技术的高速发展,对温度较敏感的电子元器件在设计中被普遍采用,为了满足这种电子元器件的封装要求,平行缝焊技术应运而生。平行缝焊是一种温升小、气密性高的高可靠性封装方式,普遍用于对水汽含量和气密性要求较高的集成电路封装中。影响平行缝焊质量的有诸多因素,如盖板和管壳之间的匹配、工艺参数的设置、电极表面的状态等。我们通过在SSEC(Solid State Equipment Company)M-2300型平行缝焊机上进行实验,总结出电极的状态对于平行缝焊的成品率有着直接的影响。 展开更多
关键词 封装 平行缝焊 电极
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平行缝焊工艺典型参数值的研究 被引量:2
20
作者 欧阳径桥 吴慧 王得收 《集成电路通讯》 2015年第2期28-30,共3页
平行缝焊是集成电路封装的一种重要封装方式。在某些条件相对固定的时,可以对不同型号的系列管壳设置一组可共用的缝焊工艺典型参数。通过技术分析后,选择在同一生产线生产的不同型号管壳进行一系列试验验证,证明了一种缝焊参数在一... 平行缝焊是集成电路封装的一种重要封装方式。在某些条件相对固定的时,可以对不同型号的系列管壳设置一组可共用的缝焊工艺典型参数。通过技术分析后,选择在同一生产线生产的不同型号管壳进行一系列试验验证,证明了一种缝焊参数在一定条件下完全可以延伸为广泛使用的典型缝焊参数。 展开更多
关键词 管壳 平行缝焊 典型参数
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