平面型埋栅结构的静电感应晶体管(英文)

在表面栅和埋栅结构的基础上 ,提出了一种制造静电感应晶体管的新型结构 ,平面型埋栅结构 .用普通的平面工艺实现了具有高击穿电压的埋栅结构 ,避免了工艺难度较大的二次外延和台面腐蚀工艺 .实验结果表明该结构可用于制造各种功率静电感应器件 ,其优点是具有高的击穿电压和高的阻断增益 ,并讨论了平面型埋栅结构的主要特点和制造工艺 .