平面电动机设计、控制与应用技术综述

平面电动机具有二维直接驱动的特点,它在二维平面定位装置特别是精密二维平面定位装置中具有广阔的应用前景,受到学术界和工业界的广泛关注。本文分析了平面电动机设计理论、控制方法和应用技术的研究现状,考察了平面电动机产品的发展概况,针对目前平面电动机技术存在的不足,讨论了未来平面电动机技术发展的主要方向。

高性能永磁同步平面电机及其关键技术发展综述

永磁同步平面电机具有直接驱动、出力密度高、低热耗、高精度等特点,在现代精密、超精密加工装备,特别是在极紫外光刻机中具有广阔的应用前景。根据永磁阵列和线圈阵列的结构形式将永磁同步平面电机划分为组合式、半组合式、绕组层叠式和对称式永磁同步平面电机4类,并介绍了各种类型平面电机的特点,总结了永磁同步平面电机关键技术的发展现状,针对目前永磁同步平面电机存在的不足,讨论了未来永磁同步平面电机发展的趋势与方向。

平面电动机技术发展综述

综述了平面电动机的发展现状,讨论了平面电动机的分类情况,针对不同结构类型的平面电动机,简单阐述了其结构、工作原理和特点,指出平面电机技术目前存在的不足,探讨了平面电动机未来的发展前景和方向。

平面电动机技术发展综述

综述了平面电动机的发展现状,讨论了平面电动机的分类情况,针对不同结构类型的平面电动机,简单阐述了其结构、工作原理和特点,指出平面电机技术目前存在的不足,探讨了平面电动机未来的发展前景和方向。