基于SURF算法的MEMS平面微运动测量

针对MEMS等微小目标的高频面内振动的高精度快速检测的需要,提出了基于SURF算法的特征点匹配测量方法。该方法在利用频闪微视觉系统采集MEMS周期内频闪图像序列的基础上,使用SURF与RANSAC算法,对序列中相邻图像进行特征点的检测与匹配,再去除匹配结果中的粗大误差,获取待测目标的亚像素位移,并转化为实际的空间距离。试验结果表明,该方法可以达到100 nm的空间分辨率,实现对MEMS面内振动的高精度快速测量,满足快速高精度检测的要求。