硅基热线式气敏元件及其特性

利用射频溅射在硅衬底上制作 Ｐｔ膜电极，以溶胶－凝胶法制作的低阻 ＳｎＯ２为敏感层制成平面热线式气敏元件．研究了工艺条件、掺杂行为及其对气敏特性的影响．掺Ｓｂ（３％ ａｔｍ）及 Ｐｔ石棉（２％ ｗｔ）在 ７００℃烧结 １． ５ ｈ的元件对 Ｈ２、ＮＨ３灵敏度较高。