平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究

采用MEMS技术（包括光刻、电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等）研制了平面磁芯螺旋结构微电感，磁芯材料为铁基纳米晶带材。其中线圈匝数为18匝，线圈导体的宽度和间隙均为30μm，厚度为20μm；电感的尺寸为3mm×3mm。测试结果表明：在频率为1-10MHz时，电感量和品质因数分别为3．2～1．2μH和2．3—1．1；在1MHz下，电感量和品质因数分别为3．2μH和2．3，可应用于微型化DC／DC变换器。

磁性薄膜微电感器件的研究进展

综述了磁性薄膜微电感的研究现状,介绍了四种不同电感器件的结构设计(平面螺旋型,磁芯螺线管,曲折结构及夹心条状结构)及其优缺点和磁芯材料(坡莫合金,铁氧体,非晶,纳米晶软磁)对电感器件的影响。

扁平电感器的平面矩形螺旋线圈电感值的计算

文章论述了两种计算平面矩形螺旋状线圈电感值的方法，第一种方法是假设电流仅仅在线圈导体的正中央流动；第二种方法则是假设在整个线圈导体宽度内的电流分布是均匀的。第二种方法将使线圈电感值的计算明显地简化和改进。文章还讨论了平面矩形螺旋状线圈引入磁芯后对其电感值的影响，然后，将两种方法的计算值与实验室的实际测量值作了比较，以此验证了两种计算方法是正确的。