外圆切割拱形槽平面靶材的可行性工艺分析

针对该平面靶材中拱形槽的特殊结构及对其特殊的切割加工要求 ,采用信息产业部电子第四十五研究所研制开发的WQ— 1A型多刀外圆切割机 ,作为原料的切割设备 ,并进行细致、全面的可行性切割探索及工艺分析与论证。

浅谈如何提高ITO靶材使用率

本文介绍了ITO靶材的主要制备方法、液晶显示对ITO靶材要求、磁控溅射沉积技术的应用。并提出了提高靶材利用率的几种方法：靶材厂商改变靶材结构提高使用率、旋转靶材的应用提高使用率、调整磁场强度提高ITO靶材使用率、靶材位置互换提高靶材使用率。供广大看客参考。

大尺寸薄膜晶体管液晶显示器的一种条状显示不均的分析和改善研究

研究了大尺寸薄膜晶体管液晶显示器产品开发中遇到的一种新的条状显示不均。通过扫描电子显微镜、四探针测试仪和分光光度计设备对这种显示不均进行了分析,这种显示不均与薄膜晶体管阵列基板上的金属配线的膜厚周期性波动有关,金属膜厚的周期性波动导致了液晶显示器的液晶盒盒厚的不均匀,从而造成显示不均。这种膜厚的周期性波动与液晶高世代线广泛采用的平面靶材溅射设备构造有关。通过对设备结构的改造,提高了基板面内的金属膜厚的均一性,改善了此不良。