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Ga_(1-x)In_xSb/GaSb应变层超晶格的MOVPE生长
被引量:
3
1
作者
陆大成
汪度
+2 位作者
刘祥林
万寿科
王玉田
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第9期584-587,T001,共5页
本文报道用常压金属有机物气相外延方法在 GaSb衬底上生长 Ga_(1-x)In_xSb/GaSb应变层超晶格材料.X射线双晶衍射谱和反射电子显微像表明超晶格结构的周期性,GalnSb阱的组分均匀性和异质结界面质量较好.观察到当In含量提高时起源于超晶格...
本文报道用常压金属有机物气相外延方法在 GaSb衬底上生长 Ga_(1-x)In_xSb/GaSb应变层超晶格材料.X射线双晶衍射谱和反射电子显微像表明超晶格结构的周期性,GalnSb阱的组分均匀性和异质结界面质量较好.观察到当In含量提高时起源于超晶格-衬底界面处的失配位错.低温光荧光测量显示出因量子尺寸效应导致的带间跃迁向高能方向的移动.
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关键词
应变
层
晶
格
生长
超晶
格
材料
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职称材料
电场对ZnSe/ZnS应变层超晶格的影响
2
作者
师庆华
《液晶与显示》
CAS
CSCD
1990年第6期7-9,共3页
对加电场的ZnSe/ZnS应变层超晶格(SLSs)进行了光致发光测量,并观察到发光猝灭和峰向较低能侧的移动。这些现象与ZnSe阱中由电场引起的电子——空穴分离有关。作者用ZnSe/ZnS SLSs已成功地得到了光调制器,并证明了电场造成的吸收改变会...
对加电场的ZnSe/ZnS应变层超晶格(SLSs)进行了光致发光测量,并观察到发光猝灭和峰向较低能侧的移动。这些现象与ZnSe阱中由电场引起的电子——空穴分离有关。作者用ZnSe/ZnS SLSs已成功地得到了光调制器,并证明了电场造成的吸收改变会起到光开关的作用。此外,得到了作为ZnSe/ZnS SLSs二次谐波的0.5235和0.436μm波长的相干光。
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关键词
ZnSe
应变
层
光致发光
光调制器
超晶
格
结构
激子发射
吸收边
发光猝灭
量子尺寸效应
光学特性
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职称材料
ZnSe-ZnTe应变层超晶格用于光电器件的新材料
3
作者
刘卫民
《液晶与显示》
CAS
CSCD
1989年第Z1期21-24,共4页
采用分子束外延方法生长了ZnSe-ZnTe应变层超晶格。采用光致发光方法对ZnSe-ZnTe应变层超晶格的光学特性进行了评价,发光颜色为由蓝绿至红的可见光范围内.为了获得宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体的p型和n型电导,采用调制掺杂技术制备了ZnSe-ZnTe超晶...
采用分子束外延方法生长了ZnSe-ZnTe应变层超晶格。采用光致发光方法对ZnSe-ZnTe应变层超晶格的光学特性进行了评价,发光颜色为由蓝绿至红的可见光范围内.为了获得宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体的p型和n型电导,采用调制掺杂技术制备了ZnSe-ZnTe超晶格,如果在ZnTe层中有选择地掺杂Sb,则所有样品呈现p型电导,且空穴浓度为(0.5-1.0)×10<sup>14</sup>cm<sup>-3</sup>。另一方面,Ga掺杂的应变层超晶格的电子浓度为(2-7)×10<sup>13</sup>cm(-3)。
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关键词
应变
层
ZNSE-ZNTE
超晶
格
结构
电子浓度
调制掺杂
Ⅱ-Ⅵ族半导体
光致发光
光学特性
量子化
发光颜色
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职称材料
InP/GaAs异质外延及异变InGaAs光探测器制备
被引量:
5
4
作者
王琦
任晓敏
+5 位作者
熊德平
周静
吕吉贺
黄辉
黄永清
蔡世伟
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第10期1143-1145,1149,共4页
借助超薄低温InP缓冲层,在GaAs衬底上生长出了高质量的InP外延层,在InP外延层中插入了15周期In0.93Ga0.07P/InP应变层超晶格(SLS),进一步阻断了失配位错穿透到晶体表面,提高了外延层的晶体质量,这样2.5μm厚InP外延层的双晶X射线衍射(DC...
借助超薄低温InP缓冲层,在GaAs衬底上生长出了高质量的InP外延层,在InP外延层中插入了15周期In0.93Ga0.07P/InP应变层超晶格(SLS),进一步阻断了失配位错穿透到晶体表面,提高了外延层的晶体质量,这样2.5μm厚InP外延层的双晶X射线衍射(DCXRD)ω扫描半高全宽(FWHM)值降低至219 arcsec,该InP外延层的室温光荧光(PL)谱线宽度仅为42 meV。在此基础上,只利用超薄低温InP缓冲层技术就在半绝缘GaAs衬底上成功地制备出了长波长异变In0.53Ga0.47As PIN光电探测器,器件的台面面积为50μm×50μm,In0.53Ga0.47As吸收层厚度为300 nm,在3 V反偏压下器件的3 dB带宽达到了6 GHz,在1550 nm波长处器件的响应度达到了0.12 A/W,对应的外量子效率为9.6%。
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关键词
异质外延
低温InP缓冲
层
应变
层
超晶
格
(
sls
)
光探测器
原文传递
题名
Ga_(1-x)In_xSb/GaSb应变层超晶格的MOVPE生长
被引量:
3
1
作者
陆大成
汪度
刘祥林
万寿科
王玉田
机构
中国科学院半导体研究所半导体材料科学开放实验室
中国科学院半导体研究所
出处
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第9期584-587,T001,共5页
文摘
本文报道用常压金属有机物气相外延方法在 GaSb衬底上生长 Ga_(1-x)In_xSb/GaSb应变层超晶格材料.X射线双晶衍射谱和反射电子显微像表明超晶格结构的周期性,GalnSb阱的组分均匀性和异质结界面质量较好.观察到当In含量提高时起源于超晶格-衬底界面处的失配位错.低温光荧光测量显示出因量子尺寸效应导致的带间跃迁向高能方向的移动.
关键词
应变
层
晶
格
生长
超晶
格
材料
分类号
O78 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
电场对ZnSe/ZnS应变层超晶格的影响
2
作者
师庆华
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
1990年第6期7-9,共3页
文摘
对加电场的ZnSe/ZnS应变层超晶格(SLSs)进行了光致发光测量,并观察到发光猝灭和峰向较低能侧的移动。这些现象与ZnSe阱中由电场引起的电子——空穴分离有关。作者用ZnSe/ZnS SLSs已成功地得到了光调制器,并证明了电场造成的吸收改变会起到光开关的作用。此外,得到了作为ZnSe/ZnS SLSs二次谐波的0.5235和0.436μm波长的相干光。
关键词
ZnSe
应变
层
光致发光
光调制器
超晶
格
结构
激子发射
吸收边
发光猝灭
量子尺寸效应
光学特性
分类号
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
ZnSe-ZnTe应变层超晶格用于光电器件的新材料
3
作者
刘卫民
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
1989年第Z1期21-24,共4页
文摘
采用分子束外延方法生长了ZnSe-ZnTe应变层超晶格。采用光致发光方法对ZnSe-ZnTe应变层超晶格的光学特性进行了评价,发光颜色为由蓝绿至红的可见光范围内.为了获得宽带Ⅱ-Ⅵ族半导体的p型和n型电导,采用调制掺杂技术制备了ZnSe-ZnTe超晶格,如果在ZnTe层中有选择地掺杂Sb,则所有样品呈现p型电导,且空穴浓度为(0.5-1.0)×10<sup>14</sup>cm<sup>-3</sup>。另一方面,Ga掺杂的应变层超晶格的电子浓度为(2-7)×10<sup>13</sup>cm(-3)。
关键词
应变
层
ZNSE-ZNTE
超晶
格
结构
电子浓度
调制掺杂
Ⅱ-Ⅵ族半导体
光致发光
光学特性
量子化
发光颜色
分类号
TN141.9 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
InP/GaAs异质外延及异变InGaAs光探测器制备
被引量:
5
4
作者
王琦
任晓敏
熊德平
周静
吕吉贺
黄辉
黄永清
蔡世伟
机构
光通信与光波技术教育部重点实验室
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第10期1143-1145,1149,共4页
基金
国家重点基础研究发展计划资助项目(2003CB314901)
国际科技合作重点项目计划资助项目(2006DFB11110)
+1 种基金
高等学校学科创新引智计划资助项目(B07005)
教育部新世纪人才支持计划资助项目(NCET-05-0111)
文摘
借助超薄低温InP缓冲层,在GaAs衬底上生长出了高质量的InP外延层,在InP外延层中插入了15周期In0.93Ga0.07P/InP应变层超晶格(SLS),进一步阻断了失配位错穿透到晶体表面,提高了外延层的晶体质量,这样2.5μm厚InP外延层的双晶X射线衍射(DCXRD)ω扫描半高全宽(FWHM)值降低至219 arcsec,该InP外延层的室温光荧光(PL)谱线宽度仅为42 meV。在此基础上,只利用超薄低温InP缓冲层技术就在半绝缘GaAs衬底上成功地制备出了长波长异变In0.53Ga0.47As PIN光电探测器,器件的台面面积为50μm×50μm,In0.53Ga0.47As吸收层厚度为300 nm,在3 V反偏压下器件的3 dB带宽达到了6 GHz,在1550 nm波长处器件的响应度达到了0.12 A/W,对应的外量子效率为9.6%。
关键词
异质外延
低温InP缓冲
层
应变
层
超晶
格
(
sls
)
光探测器
Keywords
heteroepitaxy
low temperature InP buffer
strained layer superlattice(
sls
)
photodetector
分类号
TN366 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Ga_(1-x)In_xSb/GaSb应变层超晶格的MOVPE生长
陆大成
汪度
刘祥林
万寿科
王玉田
《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992
3
下载PDF
职称材料
2
电场对ZnSe/ZnS应变层超晶格的影响
师庆华
《液晶与显示》
CAS
CSCD
1990
0
下载PDF
职称材料
3
ZnSe-ZnTe应变层超晶格用于光电器件的新材料
刘卫民
《液晶与显示》
CAS
CSCD
1989
0
下载PDF
职称材料
4
InP/GaAs异质外延及异变InGaAs光探测器制备
王琦
任晓敏
熊德平
周静
吕吉贺
黄辉
黄永清
蔡世伟
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
5
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