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SrTiO_3薄膜的掠入射X射线衍射研究
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作者 翟章印 《淮阴师范学院学报（自然科学版）》 CAS 2011年第1期22-25,共4页
采用掠入射X射线衍射技术研究了外延SrTiO3薄膜面内晶格应变随着深度的分布.研究发现不管是较薄的还是较厚的薄膜其面内晶格应变随深度的分布都不是连续变化的,而是可以分为三个区域,即表面区、应变驰豫区、界面区.
关键词 掠入射X射线衍射 面内晶格参数 应变深度分布
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