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SOI技术及其设备
1
作者
翁寿松
《电子工业专用设备》
2006年第3期43-45,共3页
介绍了SOI技术的特点和制造方法、超薄SOI技术,应变硅SOI技术及其设备,如大束流专用氧离子注入机。
关键词
soi
技术
超薄
soi
应变硅soi
大柬流
专用氧离子注入机
下载PDF
职称材料
题名
SOI技术及其设备
1
作者
翁寿松
机构
无锡市罗特电子公司
出处
《电子工业专用设备》
2006年第3期43-45,共3页
文摘
介绍了SOI技术的特点和制造方法、超薄SOI技术,应变硅SOI技术及其设备,如大束流专用氧离子注入机。
关键词
soi
技术
超薄
soi
应变硅soi
大柬流
专用氧离子注入机
Keywords
Silicon-on-Insulator technology
Ultra-thin-
soi
Strained silicon
soi
Big beam flow
Private oxygen ion injecting equipment
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
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作者
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1
SOI技术及其设备
翁寿松
《电子工业专用设备》
2006
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