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大功率底发射VCSEL出光窗口增透膜的研究 被引量:1
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作者 套格套 初国强 +6 位作者 宁永强 秦莉 孙艳芳 金珍花 晏长岭 刘云 王立军 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期445-447,共3页
 在大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)出光窗口镀制了HfO2增透膜,其透过率达到99.9%。对镀膜材料以及透过率方面进行了比较,介绍了增透膜的制作过程。镀膜后直径为600μm的底发射VCSEL获得了室温连续输出功率为1.63W,功率转换效率提高...  在大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)出光窗口镀制了HfO2增透膜,其透过率达到99.9%。对镀膜材料以及透过率方面进行了比较,介绍了增透膜的制作过程。镀膜后直径为600μm的底发射VCSEL获得了室温连续输出功率为1.63W,功率转换效率提高了6%。 展开更多
关键词 大功率底发射vcsel 增透膜 等离子体辅助电子束蒸发 功率转换效率
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高功率底发射VCSELs的制作与特性研究 被引量:15
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作者 孙艳芳 金珍花 +9 位作者 宁永强 秦莉 晏长岭 路国光 套格套 刘云 王立军 崔大复 李惠青 许祖彦 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2004年第5期449-453,共5页
研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器,并分析了器件特性。通过增加有源区面积,改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率。分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系... 研究制作了大面积底发射氧化限制面发射激光器,并分析了器件特性。通过增加有源区面积,改进制作工艺,采用Al2O3作钝化膜和多层复合HfO2作增透膜等方法,提高了激光器输出功率。分析了最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系。结果表明:有源区直径分别为500μm和600μm的单管,室温下均达到连续输出功率1.95W,这也是目前国际上所实现的单管室温连续输出最高功率;实验所得最大输出功率与有源区直径和注入电流之间的依赖关系与理论计算所得结果一致。并特别讨论了直径200μm的器件的近场和远场光强分布,获得单横模工作。 展开更多
关键词 vcsels发射 980nm 输出功率 近场 远场
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底发射VCSEL片上点阵结构光投影装置设计
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作者 阮仁杰 曹银花 +3 位作者 王晓帆 马艳红 王智勇 兰天 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第6期261-269,共9页
为解决现有点阵结构光投影装置中准直透镜会导致较强的零级衍射而造成投影点阵光强分布不均匀的问题,提出了一种基于底发射垂直腔面发射激光器的片上点阵光投影装置结构,并给出了衍射光学元件设计思路。首先对目标光场进行光强调整和坐... 为解决现有点阵结构光投影装置中准直透镜会导致较强的零级衍射而造成投影点阵光强分布不均匀的问题,提出了一种基于底发射垂直腔面发射激光器的片上点阵光投影装置结构,并给出了衍射光学元件设计思路。首先对目标光场进行光强调整和坐标变换,在无准直透镜情况下利用基于瑞利-索末菲衍射积分的Gerchberg-Saxton改进算法获得片上衍射光学元件的相位分布,并最终对该点阵投影装置的投影效果进行评估。结果表明:在衍射光学元件设计过程中采用高斯光束作为光源时,该结构能更好地抑制零级衍射,获得光强分布更加均匀的投影点阵。此外,该结构不仅可省去透镜的安装,减小投影装置尺寸,还可通过流片工艺实现光源和衍射光学元件一体化集成。 展开更多
关键词 衍射光学 片上结构光 瑞利-索末菲衍射积分 衍射光学元件 Gerchberg-Saxton算法 底发射vcsel
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