底座激振下微型叠层芯片共振频率检测

为测试微悬臂芯片的动态特性,建立以压电陶瓷为激振底座的测试系统。采用白噪声、稳态正弦和快速正弦(啁啾信号)扫频方式激励微叠层悬臂芯片,由多普勒测振仪测试芯片动态响应。通过分析压电陶瓷阻抗变化与芯片动态响应,获得的频率对应于压电陶瓷激振器所激励叠层芯片的一阶共振频率,可作为微结构和器件动态分析的测试方案。