半导体生产用废化学试剂松节油再生提纯技术

半导体元件生产对硅片表面选择腐蚀时,使用真空封蜡作屏蔽保护;腐蚀结束,再用试剂松节油溶解去除胶脂,清洗硅片表面。使用后的废松节油中主要混溶了真空封蜡并含有少量水份,呈黑色混合液,具有挥发性刺激气味。废油排放后,污染水体,危害环境。我们应用精密蒸馏和离心分离等技术,于1987年研制了一套再生处理装置,成功地将废油直接提纯为分析纯试剂松节油,循环重复使用于生产中。松节油是64％α蒎烯和33％β蒎烯及少量二聚戊烯组成的烃的混和物,分子式表示为C_(10)H_(16),它具有很强的溶剂性能。