光电行业废磷酸蚀刻液萃取除杂实验研究

光电行业产生的废磷酸蚀刻液具有强腐蚀性,属危险废物,如果不合理回收处理,将会造成资源浪费,环境污染,进而威胁人类的安全。文章选取深圳某光电企业废磷酸蚀刻液为原料,进行萃取除杂实验。经过一级萃取,反萃实验,多级回用研究,探索得到一个磷酸回收除杂效果较佳的技术方案。研究结果表明,磷酸三丁酯/N235/DT-100萃取体系中三者体积比为4∶1∶5,相比为1∶1,萃取时间为10 min时为较优的萃取条件,磷酸回收率为93.80%,硝酸去除率为82.65%;萃取剂具有重复处理废磷酸蚀刻液的能力。

电解-萃取组合工艺处理废磷酸蚀刻液

采用电解-萃取组合工艺,以薄膜晶体管液晶显示屏生产过程中产生的废磷酸蚀刻液为研究对象,考察电解对废磷酸蚀刻液的脱色和杂质去除效果,并研究以磷酸三丁酯-30%煤油作为萃取剂时,对废磷酸蚀刻液的萃取效果。实验结果表明:在温度40℃,极板间距10mm,电流密度为10mA/cm2的条件下电解15min,废磷酸蚀刻液的透光率达到85%;以磷酸三丁酯-30%煤油作为萃取剂,在温度40℃,相比为4的条件下萃取15min,磷酸的萃取率达到62.2%。

一种废磷酸基蚀刻液的再生利用工艺

探讨薄膜液晶显示屏行业与半导体芯片厂废磷酸基蚀刻液的异同,对薄膜液晶显示屏行业产生的磷酸基蚀刻液废液的产生背景和处置利用方式进行了研究。通过研究、分析和实践提出了一种半导体芯片厂废磷酸蚀刻液的资源利用工艺:找出了一种絮状物去除剂A,使用试剂A可将废磷酸基蚀刻液中的絮状物通过化学反应的方式去除,将絮状物除后的磷酸经过中和反应、结晶、离心和干燥等工序可制备出满足国家和行业标准的磷酸二氢钾产品。通过以上工艺制备的产品满足工业品品质要求,按照危废鉴定准则,不属于危险废弃物,可作为产品进行市场销售,从而实现了资源的再利用。