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题名倒装芯片封装器件开封方法研究
被引量:1
- 1
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作者
何志刚
梁堃
龚国虎
周庆波
王晓敏
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机构
中国工程物理研究院计量测试中心
中国工程物理研究院电子工程研究所
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出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期548-551,共4页
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文摘
对倒装芯片封装(Flip-Chip Package)器件开封技术进行了研究。总结了倒装芯片封装的类型、结构和封装材料;从理论上证明了倒装芯片封装器件开封的可能,并找出了限制开封的制约因素;提出了一种倒装芯片封装器件开封方法,通过X射线检查、镶嵌、磨抛和酸刻蚀的综合应用,突破了限制这类器件开封的因素,并证明了该方法的适用性;给出了建议的试验条件,并展示了开封效果。
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关键词
倒装芯片
DPA
开封方法
镶嵌
磨抛
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Keywords
Flip chip
DPA
Delidding method
Potting
Grinding and polishing
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分类号
TN406
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名倒装芯片组装集成电路开封方法
被引量:1
- 2
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作者
周帅
郑大勇
王斌
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机构
工业和信息化部电子第五研究所
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出处
《太赫兹科学与电子信息学报》
2017年第2期328-332,共5页
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基金
广东省自然科学基金资助项目(2015A030310331
2015A030306002)
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文摘
倒装芯片组装集成电路的结构与常规封装不同,导致现行开封技术不完全适用于倒装芯片组装集成电路。对不同封装形式的倒装芯片组装集成电路结构分析,找出目前制约开封技术的关键因素。以陶瓷及塑封封装倒装芯片组装集成电路为例,运用热风枪、高温预处理、机械应力及化学腐蚀等方法,提出了一套适用性强、效率高的综合性倒装芯片组装集成电路开封工艺技术,并通过实例进行验证和总结。通过运用该技术可以有效解决倒装芯片组装集成电路的开封问题,为后续标准的修订及破坏性物理分析提供依据和帮助。
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关键词
倒装芯片
结构分析
封装形式
环氧树脂
开封方法
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Keywords
flip chip
structural analysis
encapsulation form
epoxy resin
unsealing method
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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