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基底温度复合控制对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响
1
作者
张湘辉
汪灵
+2 位作者
龙剑平
邓苗
冯珊
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第21期3018-3022,共5页
采用自主研制的具有基底温度开-闭环复合自动控制系统的直流弧光放电PCVD设备,当开环流量不同时,在硬质合金基体表面分别进行了纳米金刚石薄膜制备研究。并采用SEM、XRD、激光Raman光谱仪对所制备薄膜的形貌、物相和品质进行了分析。研...
采用自主研制的具有基底温度开-闭环复合自动控制系统的直流弧光放电PCVD设备,当开环流量不同时,在硬质合金基体表面分别进行了纳米金刚石薄膜制备研究。并采用SEM、XRD、激光Raman光谱仪对所制备薄膜的形貌、物相和品质进行了分析。研究结果表明,当开环流量从10→5→15→20mL/min变化时,所制备纳米金刚石薄膜的表面粗糙度及石墨成分会随之增加,金刚石晶粒转变为以(110)面生长为主,且尺寸增大;并加剧了硬质合金基体中Co相粘结剂向基体表面的扩散。温控中基底温度的波动(稳定性)是影响纳米金刚石薄膜生长性能的主要原因。
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关键词
直流弧光放电等离子体化学气相沉积法
纳米金刚石薄膜
基底温度
开-闭环复合控制
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职称材料
题名
基底温度复合控制对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响
1
作者
张湘辉
汪灵
龙剑平
邓苗
冯珊
机构
成都理工大学材料与化学化工学院
成都理工大学金刚石薄膜实验室
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第21期3018-3022,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50974025
40572030)
+4 种基金
国家公益性行业科学专项经费资助项目(201011005-5)
四川省科技厅重点科技攻关资助项目(05GG021-001)
四川省教育厅自然科学资助项目(2003A142
07ZB009)
成都理工大学研究基金资助项目(2005GY02)
文摘
采用自主研制的具有基底温度开-闭环复合自动控制系统的直流弧光放电PCVD设备,当开环流量不同时,在硬质合金基体表面分别进行了纳米金刚石薄膜制备研究。并采用SEM、XRD、激光Raman光谱仪对所制备薄膜的形貌、物相和品质进行了分析。研究结果表明,当开环流量从10→5→15→20mL/min变化时,所制备纳米金刚石薄膜的表面粗糙度及石墨成分会随之增加,金刚石晶粒转变为以(110)面生长为主,且尺寸增大;并加剧了硬质合金基体中Co相粘结剂向基体表面的扩散。温控中基底温度的波动(稳定性)是影响纳米金刚石薄膜生长性能的主要原因。
关键词
直流弧光放电等离子体化学气相沉积法
纳米金刚石薄膜
基底温度
开-闭环复合控制
Keywords
DC arc discharge plasma chemical vapor deposition
nanocrystalline diamond films
substrate temperature
opened and closed loop composite control method
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基底温度复合控制对化学气相沉积纳米金刚石薄膜的影响
张湘辉
汪灵
龙剑平
邓苗
冯珊
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
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职称材料
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