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GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成的研究 被引量:6
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作者 吴立枢 赵岩 +2 位作者 沈宏昌 张有涛 陈堂胜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期377-381,共5页
基于圆片级外延层转移技术,将完成GaAs pHEMT有源器件加工的外延层从原有衬底上完整地剥离下来并转移到完成工艺加工的Si CMOS圆片上,基于开发的异类器件互联以及异类器件单片集成电路设计等一系列关键技术,进行了GaAs pHEMT与Si CMOS... 基于圆片级外延层转移技术,将完成GaAs pHEMT有源器件加工的外延层从原有衬底上完整地剥离下来并转移到完成工艺加工的Si CMOS圆片上,基于开发的异类器件互联以及异类器件单片集成电路设计等一系列关键技术,进行了GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成单片电路的工艺加工。研制的GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成单片数字控制开关电路与传统的GaAs pHEMT单片电路相比,芯片面积减小15%。 展开更多
关键词 转移 键合 GaAs赝配高电子迁移率晶体管 Si互补金属氧化物半导体 异质互联
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现场总线和局域网互联技术研究 被引量:1
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作者 杨清宇 施仁 《机床与液压》 北大核心 2004年第3期91-93,共3页
自动化制造业领域 ,为实现整个生产过程的综合控制和管理 ,迫切需要将底层多种现场总线控制网络和工厂局域网进行集成。本文对现有集成方法进行了详细的分析 ,提出了一种简单、安全的集成方法 ,给出了互联的网关模型结构 ,对模型各部分... 自动化制造业领域 ,为实现整个生产过程的综合控制和管理 ,迫切需要将底层多种现场总线控制网络和工厂局域网进行集成。本文对现有集成方法进行了详细的分析 ,提出了一种简单、安全的集成方法 ,给出了互联的网关模型结构 ,对模型各部分功能进行了详尽的说明。最后 ,对网络互联所引起的系统安全问题进行了深入探讨。 展开更多
关键词 现场总线 局域网 网关模型 异质网络互联 互联技术 集成
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