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GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成的研究
被引量:
6
1
作者
吴立枢
赵岩
+2 位作者
沈宏昌
张有涛
陈堂胜
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期377-381,共5页
基于圆片级外延层转移技术,将完成GaAs pHEMT有源器件加工的外延层从原有衬底上完整地剥离下来并转移到完成工艺加工的Si CMOS圆片上,基于开发的异类器件互联以及异类器件单片集成电路设计等一系列关键技术,进行了GaAs pHEMT与Si CMOS...
基于圆片级外延层转移技术,将完成GaAs pHEMT有源器件加工的外延层从原有衬底上完整地剥离下来并转移到完成工艺加工的Si CMOS圆片上,基于开发的异类器件互联以及异类器件单片集成电路设计等一系列关键技术,进行了GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成单片电路的工艺加工。研制的GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成单片数字控制开关电路与传统的GaAs pHEMT单片电路相比,芯片面积减小15%。
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关键词
转移
键合
GaAs赝配高电子迁移率晶体管
Si互补金属氧化物半导体
异质互联
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职称材料
现场总线和局域网互联技术研究
被引量:
1
2
作者
杨清宇
施仁
《机床与液压》
北大核心
2004年第3期91-93,共3页
自动化制造业领域 ,为实现整个生产过程的综合控制和管理 ,迫切需要将底层多种现场总线控制网络和工厂局域网进行集成。本文对现有集成方法进行了详细的分析 ,提出了一种简单、安全的集成方法 ,给出了互联的网关模型结构 ,对模型各部分...
自动化制造业领域 ,为实现整个生产过程的综合控制和管理 ,迫切需要将底层多种现场总线控制网络和工厂局域网进行集成。本文对现有集成方法进行了详细的分析 ,提出了一种简单、安全的集成方法 ,给出了互联的网关模型结构 ,对模型各部分功能进行了详尽的说明。最后 ,对网络互联所引起的系统安全问题进行了深入探讨。
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关键词
现场总线
局域网
网关模型
异质
网络
互联
互联
技术
集成
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职称材料
题名
GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成的研究
被引量:
6
1
作者
吴立枢
赵岩
沈宏昌
张有涛
陈堂胜
机构
南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期377-381,共5页
文摘
基于圆片级外延层转移技术,将完成GaAs pHEMT有源器件加工的外延层从原有衬底上完整地剥离下来并转移到完成工艺加工的Si CMOS圆片上,基于开发的异类器件互联以及异类器件单片集成电路设计等一系列关键技术,进行了GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成单片电路的工艺加工。研制的GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成单片数字控制开关电路与传统的GaAs pHEMT单片电路相比,芯片面积减小15%。
关键词
转移
键合
GaAs赝配高电子迁移率晶体管
Si互补金属氧化物半导体
异质互联
Keywords
transfer
bonding
GaAs pHEMT
Si CMOS
heterogeneous integration
分类号
TN386 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
现场总线和局域网互联技术研究
被引量:
1
2
作者
杨清宇
施仁
机构
西安交通大学自动控制系
出处
《机床与液压》
北大核心
2004年第3期91-93,共3页
文摘
自动化制造业领域 ,为实现整个生产过程的综合控制和管理 ,迫切需要将底层多种现场总线控制网络和工厂局域网进行集成。本文对现有集成方法进行了详细的分析 ,提出了一种简单、安全的集成方法 ,给出了互联的网关模型结构 ,对模型各部分功能进行了详尽的说明。最后 ,对网络互联所引起的系统安全问题进行了深入探讨。
关键词
现场总线
局域网
网关模型
异质
网络
互联
互联
技术
集成
Keywords
Fieldbus
LAN
Gateway model
Heterogeneous network interconnecting
分类号
TP273.5 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP393.03 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GaAs pHEMT与Si CMOS异质集成的研究
吴立枢
赵岩
沈宏昌
张有涛
陈堂胜
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2016
6
下载PDF
职称材料
2
现场总线和局域网互联技术研究
杨清宇
施仁
《机床与液压》
北大核心
2004
1
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职称材料
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