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新型硅基双异质外延SOI材料Si/γ-Al_2O_3/Si制备
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作者 王启元 谭利文 +2 位作者 王俊 郁元桓 林兰英 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2003年第3期300-304,共5页
异质外延法是目前制备新型SOI材料的技术途径之一。采用低压化学气相沉积技术(LPCVD)在硅衬底上先外延γ-Al2O3绝缘单晶薄膜,制备出硅衬底上外延氧化物外延结构γ-Al2O3/Si(EOS),然后采用类似SOS薄膜生长的常压CVD(APCVD)方法在EOS上外... 异质外延法是目前制备新型SOI材料的技术途径之一。采用低压化学气相沉积技术(LPCVD)在硅衬底上先外延γ-Al2O3绝缘单晶薄膜,制备出硅衬底上外延氧化物外延结构γ-Al2O3/Si(EOS),然后采用类似SOS薄膜生长的常压CVD(APCVD)方法在EOS上外延硅单晶薄膜,形成新型硅基双异质SOI材料Si/γ-Al2O3/Si。利用反射高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、俄歇电子能谱(AES)及MOS电学测量等技术表征分析了Si(100)/γ-Al2O3(100)/Si(100)SOI异质结构的晶体结构、组分和电学性能。测试结果表明,已成功实现了高质量的新型双异质外延SOI结构材料Si(100)/γ-Al2O3(100)/Si(100),γ-Al2O3与Si外延薄膜均为单晶,γ-Al2O3薄膜具有良好绝缘性能,SOI结构界面清晰陡峭,该SOI材料可应用于CMOS电路的研制。 展开更多
关键词 Si/γ-Al2O3/Si SOI材料 异质外延法 LPCVD APCVD 晶体生长 EOS
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金刚石研究的历史进展——单晶金刚石薄膜
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作者 王其闵 《科学中国人》 2000年第10期14-15,共2页
人类在很早以前就发现了天然金刚石,虽然在自然界可以找到很大的金刚石晶体,但数量很少,很昂贵,只能作装饰品,为皇冠上的明珠,不能大量工业应用。1959年英国的M·P·Bovenkerk等用人造方法在高温高压下合成金刚石颗粒获得成功,... 人类在很早以前就发现了天然金刚石,虽然在自然界可以找到很大的金刚石晶体,但数量很少,很昂贵,只能作装饰品,为皇冠上的明珠,不能大量工业应用。1959年英国的M·P·Bovenkerk等用人造方法在高温高压下合成金刚石颗粒获得成功,为工业上大量应用金刚石颗粒开辟了道路,为制作切削工具, 展开更多
关键词 金刚石研究 单晶金刚石薄膜 制备 高湿异质外延法生长
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Coverage Dependence of Growth Mode in Heteroepitaxy of Ni on Cu(100) Surface
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作者 WU Feng-Min LU Hang-Jun FANG Yun-Zhang HUANG Shi-Hua 《Communications in Theoretical Physics》 SCIE CAS CSCD 2008年第7期231-236,共6页
A realistic kinetic Monte Carlo (KMC) simulation model with physical parameters is developed,which wellreproduces the heteroepitaxial growth of multilayered Ni thin film on Cu(lO0) surfaces at room temperature.The eff... A realistic kinetic Monte Carlo (KMC) simulation model with physical parameters is developed,which wellreproduces the heteroepitaxial growth of multilayered Ni thin film on Cu(lO0) surfaces at room temperature.The effectsof mass transport between interlayers and edge diffusion of atoms along the islands are included in the simulation model,and the surface roughness and the layer distribution versus total coverage are calculated.Specially,the simulation modelreveals the transition of growth mode with coverage and the difference between the Ni heteroepitaxy on Cu(100) andthe Ni homoepitaxy on Ni(100).Through comparison of KMC simulation with the real scanning tunneling microscopy(STM) experiments,the Ehrlieh-Schwoebel (ES) barrier E_(es) is estimated to be 0.184±0.02 eV for Ni/Cu(100) systemwhile 0.28 eV for Ni/Ni(100).The simulation also shows that the growth mode depends strongly on the thickness ofthin film and the surface temperature,and the critical thickness of growth mode transition & dependent on the growthcondition such as surface temperature and deposition flux as well. 展开更多
关键词 生长模型 异质外延法 临界条件 数学
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