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X射线衍射研究表面活化剂对异质外延薄层Ge结构的影响
1
作者
朱海军
蒋最敏
+6 位作者
郑文莉
姜晓明
徐阿妹
毛明春
胡冬枝
张翔九
王迅
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第9期1796-1800,共5页
利用原位的反射式高能电子衍射和非原位的X射线衍射技术,研究了活化剂Sb对于Ge在Si上外延过程的影响.当没有活化剂、Ge层厚度为6nm时,外延Ge层形成岛状,应力完全释放.当有Sb时、Ge在Si上的生长是二维的,并且...
利用原位的反射式高能电子衍射和非原位的X射线衍射技术,研究了活化剂Sb对于Ge在Si上外延过程的影响.当没有活化剂、Ge层厚度为6nm时,外延Ge层形成岛状,应力完全释放.当有Sb时、Ge在Si上的生长是二维的,并且应力释放是缓慢的,即使Ge外延层厚为6nm,仍有42%的应变没有弛豫.
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关键词
X射线衍射
锗结构
异质外延薄层
表面活化剂
原文传递
题名
X射线衍射研究表面活化剂对异质外延薄层Ge结构的影响
1
作者
朱海军
蒋最敏
郑文莉
姜晓明
徐阿妹
毛明春
胡冬枝
张翔九
王迅
机构
复旦大学应用表面物理国家重点实验室
中国科学院高能物理研究所
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第9期1796-1800,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
利用原位的反射式高能电子衍射和非原位的X射线衍射技术,研究了活化剂Sb对于Ge在Si上外延过程的影响.当没有活化剂、Ge层厚度为6nm时,外延Ge层形成岛状,应力完全释放.当有Sb时、Ge在Si上的生长是二维的,并且应力释放是缓慢的,即使Ge外延层厚为6nm,仍有42%的应变没有弛豫.
关键词
X射线衍射
锗结构
异质外延薄层
表面活化剂
分类号
TN304.11 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
X射线衍射研究表面活化剂对异质外延薄层Ge结构的影响
朱海军
蒋最敏
郑文莉
姜晓明
徐阿妹
毛明春
胡冬枝
张翔九
王迅
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997
0
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