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X射线衍射研究表面活化剂对异质外延薄层Ge结构的影响
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作者 朱海军 蒋最敏 +6 位作者 郑文莉 姜晓明 徐阿妹 毛明春 胡冬枝 张翔九 王迅 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第9期1796-1800,共5页
利用原位的反射式高能电子衍射和非原位的X射线衍射技术,研究了活化剂Sb对于Ge在Si上外延过程的影响.当没有活化剂、Ge层厚度为6nm时,外延Ge层形成岛状,应力完全释放.当有Sb时、Ge在Si上的生长是二维的,并且... 利用原位的反射式高能电子衍射和非原位的X射线衍射技术,研究了活化剂Sb对于Ge在Si上外延过程的影响.当没有活化剂、Ge层厚度为6nm时,外延Ge层形成岛状,应力完全释放.当有Sb时、Ge在Si上的生长是二维的,并且应力释放是缓慢的,即使Ge外延层厚为6nm,仍有42%的应变没有弛豫. 展开更多
关键词 X射线衍射 锗结构 异质外延薄层 表面活化剂
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