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题名基于弧形边缘结构上极板的数字微流控芯片系统
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作者
查俊莹
关一民
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机构
上海大学微电子学院
上海傲睿科技有限公司
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第12期138-145,共8页
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基金
国家自然科学基金委员会重点项目(82130069)。
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文摘
为降低微尺度液滴在介电润湿(EWOD)基板上的转移难度,提出了一种基于弧形边缘结构上极板的数字微流控芯片系统,可顺利完成液滴在开放区和封闭区之间的输运。从数字微流控芯片的基本原理出发,介绍了该芯片的结构设计、制造工艺及平台构建,并对此系统中液滴在两区运动时两极板间距、液滴体积及上极板横向位置对驱动电压的影响进行了研究。实验结果表明:基于氧化铟锡(ITO)玻璃的上极板与基于铬板的下极板间距为200μm、液滴体积为1.75~2μL、上极板横向位置在电极中间时,有利于实现液滴在两个区域的自由往返输运。通过优化上极板设计,液滴在两区运动所需最低驱动电压降至67~77 V,相较于传统上极板的240~300 V驱动电压,降幅高达约75%,避免了高电压对样本的破坏,为后续生物化学分析中样品信息的保留提供了有效支持。
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关键词
数字微流控
介电润湿(EWOD)
弧形边缘结构上极板
两区运动
驱动电压
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Keywords
digital microfluidic
electrowetting-on-dielectric(EWOD)
upper pole plate with curved-edge structure
two-region motion
driving voltage
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分类号
Q819
[生物学—生物工程]
O35
[理学—流体力学]
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