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弯曲光纤针尖及其法向力压电探测技术 被引量:1
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作者 张工力 白永林 +1 位作者 党群 侯洵 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期47-49,共3页
本文介绍一种弯曲光纤针尖及其法向力压电探测的新技术 .与目前普遍采用的方法不同 ,弯曲针尖的制作是先利用电阻丝加热 ,将光纤弯曲成所需的角度 ,然后再在缓冲氢氟酸中腐蚀成针尖 ,得到曲率半径为 30 0 μm,弯曲角度为 1 2 0°,... 本文介绍一种弯曲光纤针尖及其法向力压电探测的新技术 .与目前普遍采用的方法不同 ,弯曲针尖的制作是先利用电阻丝加热 ,将光纤弯曲成所需的角度 ,然后再在缓冲氢氟酸中腐蚀成针尖 ,得到曲率半径为 30 0 μm,弯曲角度为 1 2 0°,长度为 50 0 μm的弯曲针尖 .同激光或电弧熔拉、弯曲的方法相比 ,这种方法工艺简单 ,成本低廉 .由弯曲针尖与蜂鸣器压电片组成的悬臂 ,利用压电片的正、逆压电效应实现弯曲针尖法向力的非光学法探测 .实验表明 ,这种弯尖法向力的探测较直尖切变力具有更高灵敏度 ,探测距离提高了一倍以上 ,给实际应用带来很大的便利 . 展开更多
关键词 弯曲光纤针 电阻丝加热 法向力压电探测 近场扫描光学显微镜
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