真空阴极弧离子镀类金刚石碳膜Raman光谱研究

分别采用带有和不带有弯曲弧磁过滤器的真空阴极弧离子镀方法,在不同镀膜电流以及不同基片偏流下分别制备了类金刚石碳膜,对比了不同结构下类金刚石碳膜的Raman光谱特点。对其Raman光谱的D峰和G峰采用Gaussian-Lorentzion的几率分布进行了分峰,并着重讨论了基片偏流、弯曲磁场等沉积参数对膜结构的影响。结果表明,氩分压对膜结构影响不大,较大的偏流以及弯曲磁场的加入均有利于sp^3杂化碳键的形成。

化学与化工、石油与冶金工业

Y99-61660 99146041998年 IEEE 第45届石油与化工工业会议录=1998IEEE 45th petroleum & chemical industry conference[会,英]/IEEE.—1998.—346P.(AG)本书为1998年9月28～30日在印第安纳州召开的 IEEE 第45届石油与化工工业会议的论文集。

热处理与表面处理工艺

介绍了一种新型无辅助阳极式磁过滤器的基本结构,测量了在弯曲弧磁过滤器出口处的离子分布规律。SEM 分析表明,无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器消除了等离子体中的宏观粒子团。采用无辅助阳极式弯曲弧磁过滤器在玻璃基体上镀铜可以使表面粗糙度 Ra 从0.44μm 降低到0.003μm。