基于弹性背散射率的低能电子IMFP计算

采用蒙特卡罗程序对Fe、Cu、Ag和Au表面的电子弹性背散射过程进行了研究。模拟程序中电子的弹性散射截面使用在Dirac-Hatree-Fock交换势下求解得到的Mott散射截面。计算了固体表面弹性背散射率随非弹性散射平均自由程(IMFP)的变化规律,利用弹性背散射率实验数据得到能量为100-2000 eV的电子IMFP。计算结果与使用原子广义振子强度模型得到的IMFP结果进行比较,两者符合较好。