光谱仪入射狭缝扫描机构的振动控制策略

针对弹簧微动原理设计的入射狭缝扫描机构,研究其残余振动控制。将步进电机的单步运动作为对机构的位移阶跃输入,利用输入成形法,将此阶跃输入分解为一系列具有一定时间间隔的多个阶跃输入,形成脉冲序列。对步进电机进行细分驱动控制,并将脉冲序列对步进电机细分产生的微步近似取整,形成新的脉冲序列,以此新脉冲序列作为电机输入。仿真结果表明,细分驱动近似形成的脉冲序列对残余振动具有较好的抑制效果,此策略对相关参数具有一定的鲁棒性。