强介陶瓷低压扫描电子显微术

扫描电镜，从分辨能力的观点看，适当高的加速电压有高的分辨能力。然而，提高加速电压，有如下不可忽视的缺点：（１）样品表面微细结构信息被削弱或被遮盖；（２）明显的边缘效应；（３）导热性差的材料，在受电子束照射时易造成损伤；（４）对导电性差的样品，引起荷电...