脉冲钨离子注入导致的空洞效应

采用由金属蒸汽真空弧(metalvaporvacuumarc,简称MEVVA)离子源引出的强束流脉冲钨离子对H13钢进行了离子注入表面改性研究。在注入剂量为1×1017cm-2,温度为200℃以下,观察到强束流脉冲钨离子注入导致的空洞和空洞的硬化及脆化效应,分析了空洞对注入钨元素浓度深度分布的影响,基于热峰效应(spike),讨论了空洞的形成原因及其与材料耐磨性的关系。