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题名强流离子光学计算方法
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作者
戴习毛
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机构
电子工业部第四十八研究所
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出处
《电子器件》
CAS
1997年第1期699-704,共6页
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文摘
本文讨论利用计算机辅助设计建立强流离子光学的一种计算方法.可直接给出空间电位分布及离子运动轨迹,并且设计验证了几个实例.获得满意的结果.
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关键词
强流离子光学
离子注入
半导体器件
计算
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Keywords
high current ion optics, space effect, petential disribution, motion trace
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
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题名强流离子光学计算方法
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作者
戴习毛
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机构
电子工业部第四十八研究所
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出处
《微细加工技术》
1996年第4期43-48,共6页
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文摘
强流离子光学与传统离子成像光学相比，最主要的区别是强流离子光学必须考虑空间电荷效应。本文讨论利用计算机辅助设计建立强流离子光学的差分计算方法，可直接绘出空间电位分布及离子运动轨迹。设计验证了几个实例，获得较好的结果。
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关键词
强流离子光学
离子注入
半导体器件
计算方法
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Keywords
high current ion optics
space charge effect
CAD
potential distribution
ion motion trace
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分类号
TN305.3
[电子电信—物理电子学]
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题名电子光学
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出处
《中国光学》
EI
CAS
1997年第6期69-69,共1页
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文摘
O463.2 97063987强流离子光学计算方法=A calculation method ofhigh current ion optics[刊,中]/戴习毛(电子工业部第48研究所.湖南,长沙(410111))∥微细加工技术.—1996,(4).
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关键词
强流离子光学
计算方法
电子工业
电子光学
微细加工技术
湖南
计算机辅助设计
长沙
空间电荷效应
成像光学
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分类号
O463.2
[机械工程—光学工程]
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