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半导体设备热传输中的隐式-显式多步有限元法(英文) 被引量：2
1
作者 陈蔚 《数学研究》 CSCD 2002年第2期109-123,共15页
考虑热引导半导体设备中的传输行为 .用一个有限元法离散电子位势所满足的 Poisson方程 ;用隐式 -显式多步有限元法处理电子密度和空洞密度满足的两个对流 -扩散方程 ;热传导方程用隐式多步有限元法离散 .推导了优化的 L2 范误差估计 .
关键词 半导体设备 热传输 强a(0)稳定 多步法 有限元法
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