在大气气氛下应用激光和等离子体混合方法制备氮化钛

在大气气氛下，采用连续CO2激光和氮等离子体混合法（LPN）对工业纯钛样品表面进行处理，获得了氮化钛膜层。用扫描电镜（SEM），X射线衍射（XRD）对样品的形貌和结构进行了表征，结果表明在合适的条件下可以获得满意的氮化效果。在激光功率密度2．0×10^3～1．0×10^6W／cm^2，扫描速度200～1000mm／min的区间内，激光功率密度越高，扫描速度越低，氮化效果越好。工业纯钛样品的氮化深度最佳可达80μm。在有效氮化区域内，氮含量随深度变化迅速，而在过渡区域内，氮含量变化缓慢。