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离子溅射镀膜对纳米材料形貌观察的影响
被引量:
2
1
作者
李昌明
范海陆
尹荔松
《五邑大学学报(自然科学版)》
CAS
2009年第2期23-25,共3页
通过观察场发射扫描电子显微镜下纳米Cu颗粒离子溅射镀膜前后纳米尺度的形貌,发现镀膜改变了纳米Cu颗粒的形貌,分析了离子溅射膜的形成过程,探讨了镀膜改变纳米颗粒形貌的原因,指出了观察纳米颗粒形貌时应该注意的问题.
关键词
纳米材料
离子溅射
镀膜
形貌改变
下载PDF
职称材料
题名
离子溅射镀膜对纳米材料形貌观察的影响
被引量:
2
1
作者
李昌明
范海陆
尹荔松
机构
五邑大学数理系
出处
《五邑大学学报(自然科学版)》
CAS
2009年第2期23-25,共3页
文摘
通过观察场发射扫描电子显微镜下纳米Cu颗粒离子溅射镀膜前后纳米尺度的形貌,发现镀膜改变了纳米Cu颗粒的形貌,分析了离子溅射膜的形成过程,探讨了镀膜改变纳米颗粒形貌的原因,指出了观察纳米颗粒形貌时应该注意的问题.
关键词
纳米材料
离子溅射
镀膜
形貌改变
Keywords
nanometer materials
ion sputtering
coating
deformation
分类号
O657.32 [理学—分析化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子溅射镀膜对纳米材料形貌观察的影响
李昌明
范海陆
尹荔松
《五邑大学学报(自然科学版)》
CAS
2009
2
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