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离子溅射镀膜对纳米材料形貌观察的影响 被引量:2
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作者 李昌明 范海陆 尹荔松 《五邑大学学报(自然科学版)》 CAS 2009年第2期23-25,共3页
通过观察场发射扫描电子显微镜下纳米Cu颗粒离子溅射镀膜前后纳米尺度的形貌,发现镀膜改变了纳米Cu颗粒的形貌,分析了离子溅射膜的形成过程,探讨了镀膜改变纳米颗粒形貌的原因,指出了观察纳米颗粒形貌时应该注意的问题.
关键词 纳米材料 离子溅射 镀膜 形貌改变
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