亚微米分辨率的激光照相记录仪径向位移系统的分析和实验研究

衍射元件(开诺型)激光制作工艺的发展在光学上同工艺用成套设备的程序和仪器装备的完善密切相关。这些成套设备的仪器手段中独特之处属于激光图像生成器(ЛГИ)和激光照相记录仪(ЛФи)。目前保证亚微米分辨率和提高生产率的新一代的ЛГИ已被深入研究。对用极坐标系工作的、例如在光信息记录位置或存储盘格式编排位置工作的ЛФи观测了类似的过程。