多步相移中被测件径向相移不均匀引入误差比较及校正

不同步数相移算法下被测件径向相移不均匀引入的误差不同,对测量的影响也将不同。基于点衍射干涉测量光路,构建了误差分析模型,以5、6、7和13步相移算法为例,对不同相移算法下被测件径向相移不均匀引入的移相误差进行了分析,并将该移相误差的影响引入到实际干涉测量模型中,进一步分析比较了该误差对最终面形检测结果的影响,进而提出了一种基于误差预估计的多项式误差校正新方法。研究结果表明,相移算法步数越多,被测件径向相移不均匀引入的面形检测误差越大,误差均呈类抛物面分布;最终面形检测结果经Zernike多项式拟合消离焦项后已等同于进行了二次多项式校正,对于数值孔径为0.3以下的被测件,经二次多项式校正后该误差对测量的影响基本可以忽略。

基于圆形条纹径向空间载波相移的三维动态测量技术

本文提出一种利用径向空间载波相移算法实现动态三维轮廓测量。本文主要使用DLP投影模块将圆条纹连续投影到运动物体上,通过CCD相机记录畸变的条纹图案获取物体信息进行三维运算。在3-D重建过程中,通过采集得到的一幅变形图形进行数字径向移动得到另外两幅相移图像,与原始图像构成新的三幅具有相移量的变形条纹图。本文通过仿真和实验验证了所提方法的正确性。