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微/纳机电系统中的毛细黏附作用 被引量:2
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作者 朱豫晋 梁新建 金磊 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期99-101,共3页
毛细作用在所有尺度中都存在,但是在微/纳尺度下尤为重要。随着微/纳机电加工技术的迅速发展及深入研究,微/纳机电器件得到广泛应用。在微/纳机电器件的加工和使用过程中,毛细黏附作用影响其可靠性,进而影响微/纳机电器件的商品化。鉴... 毛细作用在所有尺度中都存在,但是在微/纳尺度下尤为重要。随着微/纳机电加工技术的迅速发展及深入研究,微/纳机电器件得到广泛应用。在微/纳机电器件的加工和使用过程中,毛细黏附作用影响其可靠性,进而影响微/纳机电器件的商品化。鉴于毛细黏附问题对微/纳机电器件性能的重要影响,本文综述毛细黏附力对微/纳机电系统器件性能的影响效果,微/纳尺度的毛细黏附力作用规律,以及毛细黏附控制技术。 展开更多
关键词 微/纳机电系统 毛细黏附 毛细黏附控制技术
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微/纳机构抗粘附研究进展 被引量:2
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作者 岳陆游 何兴春 +2 位作者 丁建宁 杨继昌 马皓晨 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第12期5-8,11,共5页
粘附现象是微/纳机构中特有的现象,在构件材料强度满足要求的条件下,微/纳机构中的粘附和摩擦是造成其失效的主要原因。如何防止或减轻粘附已成为微/纳机电系统(MEMS/NEMS)领域的研究热点。介绍了微/纳机构中的粘附问题,分析了粘附机理... 粘附现象是微/纳机构中特有的现象,在构件材料强度满足要求的条件下,微/纳机构中的粘附和摩擦是造成其失效的主要原因。如何防止或减轻粘附已成为微/纳机电系统(MEMS/NEMS)领域的研究热点。介绍了微/纳机构中的粘附问题,分析了粘附机理和各种粘附接触模型,说明了表面能法和微凸体积分法防粘附设计微/纳机构的原理,最后阐述了释放干燥工艺、减少实际接触面积和降低表面能等各种抗粘附措施。 展开更多
关键词 微/纳机电系统 粘附 模型 设计
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微/纳结构表面3-D轮廓测量中倾斜误差的补偿方法 被引量:1
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作者 黄玉波 栗大超 +3 位作者 胡小唐 刘钢 胡春光 张文栋 《天津大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1237-1240,共4页
在对微/纳机电系统进行机械力学特性研究和可靠性测试时,经常需要获取结构的表面3-D轮廓.然而,使用显微干涉法测量微/纳结构的表面3-D轮廓通常会存在一定的倾斜误差,这种误差在某些应用中是不允许的.为了弥补传统的调平补偿方法的局限性... 在对微/纳机电系统进行机械力学特性研究和可靠性测试时,经常需要获取结构的表面3-D轮廓.然而,使用显微干涉法测量微/纳结构的表面3-D轮廓通常会存在一定的倾斜误差,这种误差在某些应用中是不允许的.为了弥补传统的调平补偿方法的局限性,提出了一种基于最小二乘法和坐标变换的倾斜补偿方法:在处理图像时,先用最小二乘法确定一个基准平面,然后旋转直角坐标系使得新坐标系的xoy平面与基准平面平行即可达到调平被测表面而补偿倾斜误差的目的.通过具体应用实例证实了这种补偿方法是有用、灵活而精确的. 展开更多
关键词 微/纳机电系统 三维轮廓测量 调平 最小二乘法 坐标变换
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基于晶格动力学的纳米薄膜热特性研究 被引量:3
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作者 李圣怡 黄建平 《微纳电子技术》 CAS 2008年第5期249-254,共6页
针对分子动力学模拟存在的缺点,提出了基于晶格动力学模拟纳米薄膜热特性的新方法,并用该方法模拟了各种不同厚度的硅和氩纳米薄膜的比热、熔化温度、热膨胀系数和热传导系数等热特性参数。计算结果表明纳米薄膜具有与宏观晶体不同的热... 针对分子动力学模拟存在的缺点,提出了基于晶格动力学模拟纳米薄膜热特性的新方法,并用该方法模拟了各种不同厚度的硅和氩纳米薄膜的比热、熔化温度、热膨胀系数和热传导系数等热特性参数。计算结果表明纳米薄膜具有与宏观晶体不同的热特性,并且呈现随纳米薄膜厚度变化的尺寸效应:纳米薄膜越薄,则熔化温度越低、比热越大、面向热膨胀系数越大、法向热传导系数越小;当纳米薄膜厚度远小于相应的宏观晶体的声子平均自由程时,法向热传导系数远小于相应的宏观晶体的热传导系数,并与纳米薄膜厚度成正比。 展开更多
关键词 微/纳机电系统 米薄膜 晶格动力学 热特性 尺寸效应
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用于悬浮纳米结构制作的氢氟酸气相刻蚀研究 被引量:2
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作者 张伟 刘泽文 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第12期1166-1169,共4页
针对纳米悬浮结构的制作,对不同温度和不同气相条件下的氢氟酸(HF)气相刻蚀进行了研究。利用自制的研究装置,使用HF/水混合气体和HF/乙醇混合气体分别进行了HF对PECVD SiO2的气相刻蚀实验,同时测量了不同衬底温度下刻蚀速率的变化。研... 针对纳米悬浮结构的制作,对不同温度和不同气相条件下的氢氟酸(HF)气相刻蚀进行了研究。利用自制的研究装置,使用HF/水混合气体和HF/乙醇混合气体分别进行了HF对PECVD SiO2的气相刻蚀实验,同时测量了不同衬底温度下刻蚀速率的变化。研究结果表明,在常温常压下,HF/乙醇混合气体气相刻蚀速率约为7.6 nm/s,而HF/水混合气体气相刻蚀速率约为11.5 nm/s。在衬底温度分别为35,40和50℃时,HF/水混合气体的气相刻蚀速率分别为10.25,7.95和5.18 nm/s。利用HF气相腐蚀进行SiO2牺牲层释放,得到了悬浮的纳米梁结构,梁与衬底的间距为400 nm。 展开更多
关键词 氢氟酸 气相刻蚀 二氧化硅 米结构 微/纳机电系统
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基于量子效应的微型推进器设计 被引量:1
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作者 程广贵 丁建宁 +1 位作者 王权 杨继昌 《微纳电子技术》 CAS 2006年第3期141-144,149,共5页
微/纳机电系统(MEMS/NEMS)技术的发展,大大促进了航空航天领域飞行器的微型化。依据量子理论,有效提取真空中的零点能,并以此作为驱动能源,可以解决微型飞行器由于必须携带燃料而增加重量等问题。从理论上阐述了真空零点能及Casimir力... 微/纳机电系统(MEMS/NEMS)技术的发展,大大促进了航空航天领域飞行器的微型化。依据量子理论,有效提取真空中的零点能,并以此作为驱动能源,可以解决微型飞行器由于必须携带燃料而增加重量等问题。从理论上阐述了真空零点能及Casimir力的产生机理,研究了真空中两平行平板和矩形腔等结构设计依据,提出并建立了以Casimir力作为驱动力的微型推进器设计模型。 展开更多
关键词 卡西米尔力 零点能 型推进器 微/纳机电系统
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微纳制造技术的发展趋势与发展建议
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作者 林启敬 张福政 赵立波 《前瞻科技》 2024年第3期7-18,共12页
微纳制造技术能够实现微纳米级别的高精密加工,是现代高科技制造领域的核心技术。提升微纳制造技术水平,有助于提高中国高端制造业的整体竞争力,对推动科技创新和促进产业升级具有积极意义。文章概述了微纳制造技术体系,着重分析了芯片... 微纳制造技术能够实现微纳米级别的高精密加工,是现代高科技制造领域的核心技术。提升微纳制造技术水平,有助于提高中国高端制造业的整体竞争力,对推动科技创新和促进产业升级具有积极意义。文章概述了微纳制造技术体系,着重分析了芯片微纳制造、激光微纳制造和聚合物微纳制造等典型微纳制造技术的发展态势,概述了多尺度精密微纳加工、多功能材料合成制造、高度集成和多功能化、自组装技术与结构、生物纳米技术融合制造、量子信息与纳米器件及绿色环保制造技术等发展趋势,针对性提出了深化基础研究、创新材料与工艺、强化人才培育与引进、加强产学研结合与技术转化等发展建议,以期促进我国中国微纳制造技术产业整体水平提升和高质量发展。 展开更多
关键词 制造 精密加工 光刻技术 微/纳机电系统 米材料
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Ti-6Al-4V钛合金表面疏水性复合膜的制备及其微摩擦磨损性能 被引量:2
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作者 方刚 刘秦 +1 位作者 康志新 王芳 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期534-539,共6页
通过自组装分子膜(SAMs)方法和有机镀膜技术在Ti-6Al-4V钛合金表面成功制备了三嗪硫醇三乙基硅烷(TES)自组装分子膜(TES-SAMs)和含氟官能团的三嗪硫醇(ATP)复合膜(TES-ATP).采用X射线光电子能谱仪、接触角测量仪、椭圆偏振光谱仪、原子... 通过自组装分子膜(SAMs)方法和有机镀膜技术在Ti-6Al-4V钛合金表面成功制备了三嗪硫醇三乙基硅烷(TES)自组装分子膜(TES-SAMs)和含氟官能团的三嗪硫醇(ATP)复合膜(TES-ATP).采用X射线光电子能谱仪、接触角测量仪、椭圆偏振光谱仪、原子力显微镜、超景深三维显微镜和UMT-2型摩擦磨损试验机评价薄膜结构及其微摩擦学特性.研究结果表明:TES-SAMs自组装分子膜和TES-ATP复合膜的膜厚分别为3.9和22.2 nm,其对蒸馏水的接触角分别为94.5°和130.5°,呈疏水性.TES-SAMs自组装分子膜和TES-ATP复合膜均能有效降低基体的摩擦系数,TES-SAMs自组装分子膜的摩擦系数稳定在0.23,TES-ATP复合膜的摩擦系数为0.17,而空白基体的摩擦系数为0.50;同时TES-ATP复合膜还表现出良好的抗磨性能. 展开更多
关键词 钛合金 自组装分子膜 有机镀膜 疏水 摩擦学特性 微/纳机电系统
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随机噪声激励下轻敲式原子力显微镜动力学特性研究 被引量:2
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作者 武洁 张文明 +1 位作者 孟光 何宇航 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2012年第3期8-12,42,共6页
针对有界随机噪声激励下轻敲式原子力显微镜(AFM:Atomic force microscope)系统的非线性动力学问题,建立Lennard-Jones力场作用下针尖-样品的集总参数模型,应用现代微分方程和分岔理论,分析了随机扰动强度和弯月面接触角对AFM针尖-样品... 针对有界随机噪声激励下轻敲式原子力显微镜(AFM:Atomic force microscope)系统的非线性动力学问题,建立Lennard-Jones力场作用下针尖-样品的集总参数模型,应用现代微分方程和分岔理论,分析了随机扰动强度和弯月面接触角对AFM针尖-样品耦合系统动力学特性的影响。结果表明,轻敲式AFM耦合动力学系统中存在丰富的周期运动和混沌运动,表现出复杂的非线性行为,混沌特性随着随机扰动强度增大而增强,弯月面接触角越大混沌特性越明显,因此在轻敲式AFM优化设计中,随机噪声对AFM系统的影响不可忽视。 展开更多
关键词 微/纳机电系统 原子力显 Lennard-Jones力 有界噪声 弯月面
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微纳机械谐振器能量耗散机理研究进展 被引量:14
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作者 张文明 闫寒 +1 位作者 彭志科 孟光 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第19期2077-2093,共17页
微纳机械谐振器因其具有超高的谐振频率、品质因子和灵敏度等优越特性,在物理传感、生物与化学检测、射频通信、能量收集等方面表现出了卓越的性能而备受关注,已成为当前微/纳机电系统领域的研究重点和热点之一.能量耗散一直以来都是制... 微纳机械谐振器因其具有超高的谐振频率、品质因子和灵敏度等优越特性,在物理传感、生物与化学检测、射频通信、能量收集等方面表现出了卓越的性能而备受关注,已成为当前微/纳机电系统领域的研究重点和热点之一.能量耗散一直以来都是制约微纳机械谐振器性能提升与应用发展的瓶颈问题,且耗散机制具有多样性、不确定性和尺度相关性.本文综述了微纳机械谐振器中的能量耗散机理与非线性阻尼效应的研究进展,主要针对热弹性阻尼、声子相互作用、黏性阻尼、支撑损耗、表面与界面损耗等内禀和外部耗散机制进行了综述,阐明了不同能量耗散的产生机理及影响规律,可为降低能量损耗和结构优化设计、提高谐振器件的品质因子和动态性能提供参考,对微纳机械谐振器的设计、制造及应用发展具有重要意义. 展开更多
关键词 微/纳机电系统 微/机械谐振器 能量耗散 品质因子 非线性阻尼
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Microscopic mechanical characteristics analysis of ultranano-crystalline diamond films
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作者 丰杰 谢友能 +5 位作者 李周 吴先哲 李建国 梅军 余志明 魏秋平 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第10期3291-3296,共6页
The microscopic mechanical characteristics of ultranano-crystalline diamond films which were prepared in four different atmospheres were investigated for the applications in microelectron-mechanical system(MEMS).The... The microscopic mechanical characteristics of ultranano-crystalline diamond films which were prepared in four different atmospheres were investigated for the applications in microelectron-mechanical system(MEMS).The loading-unloading curves and the change of modulus and hardness of samples along with depth were achieved through nanoindenter.The results show that the films which are made in atmosphere without Ar have the highest recovery of elasticity,hardness(72.9 GPa) and elastic modulus(693.7 GPa) among the samples.Meanwhile,samples fabricated at a low Ar content have higher hardness and modulus.All the results above demonstrate that atmosphere without Ar or low Ar content leads to better mechanical properties of nanodiamond films that are the candidates for applications in MEMS. 展开更多
关键词 ultranano-crystalline diamond film NANOINDENTATION mechanical properties microelectron-mechanical system(MEMS)
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Vibration modes of flexoelectric circular plate 被引量:2
12
作者 Mengdie Lan Wenjun Yang +2 位作者 Xu Liang Shuling Hu Shengping Shen 《Acta Mechanica Sinica》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第12期95-100,共6页
Beams,plates,and shells,as the fundamental mechanical structures,are widely used in microelectromechanical systems(MEMS)and nanoelectromechanical systems(NEMS)as sensors,actuators,energy harvesters,and among others.De... Beams,plates,and shells,as the fundamental mechanical structures,are widely used in microelectromechanical systems(MEMS)and nanoelectromechanical systems(NEMS)as sensors,actuators,energy harvesters,and among others.Deeply understand the electromechanical coupling of these dielectric structures is of crucial for designing,fabricating,and optimizing practice devices in these systems.Herein we demonstrate the electromechanical coupling in flexoelectric circular plate,in which higher-order strain gradients were considered to extend the classical electromechanical properties to isotropic materials,in which the non-uniform distribution of the electric potential along the radial direction was considered.Analytical solutions for the vibration modes of the flexoelectric circular plates showed that the dynamic modes were totally different from the piezoelectric circular plates owing to the inversion symmetry breaking by the strain gradient.The electromechanical coupling dynamic modes are sensitive to bending,twisting modes owing to the sensitivity of the flexoelectric effect to bending.This work provides a fundamental understanding of the electromechanical coupling in flexoelectric circular plate,which is helpful in designing novel flexoelectric circular plate-based devices,such as flexoelectric mirrors. 展开更多
关键词 FLEXOELECTRICITY ELECTROMECHANICAL COUPLING Circular plate
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Theoretical study of piezotronic heterojunction 被引量:1
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作者 FENG XiaoLong ZHANG Yan WANG ZhongLin 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2013年第11期2615-2621,共7页
Due to the coupling of piezoelectric and semiconducting dual properties,much attention has been focused on the piezoelectric semiconductor materials,such as ZnO,ZnS,CdS and GaN.With the usage of these piezoelectric se... Due to the coupling of piezoelectric and semiconducting dual properties,much attention has been focused on the piezoelectric semiconductor materials,such as ZnO,ZnS,CdS and GaN.With the usage of these piezoelectric semiconductor materials,novel nanodevices have been demonstrated,from which a new field called piezotronics was formulated.The core of piezotronics is to study the mechanism of the piezoelectric effect on tuning the charge transport behavior across various junctions or interfaces,with potential applications in sensors,microelectromechanical systems,and force/pressure triggered electric devices.Here following the theoretical frame work of piezotronic effect,analytical solutions of piezoelectric heterojunction are presented to investigate the electrical transport behavior at a p-n junction.Numerical simulation is given for guiding future experimental measurements. 展开更多
关键词 Piezoelectric Heterojunction piezoelectric semiconductor piezotronics
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