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操纵微小世界的工具——微/纳米镊的研究与应用
被引量:
7
1
作者
刘静
《微纳电子技术》
CAS
2005年第3期97-106,122,共11页
在许多领域内,对微小物体的操纵一直都是极富挑战性的课题。这类技术以其在对微/纳米器件或生物学对象进行操作、加工、表征、装配及测试中的关键作用,正成为微/纳米技术尤其是微自动化领域中的一个极为重要的研究方向。本文归纳和总结...
在许多领域内,对微小物体的操纵一直都是极富挑战性的课题。这类技术以其在对微/纳米器件或生物学对象进行操作、加工、表征、装配及测试中的关键作用,正成为微/纳米技术尤其是微自动化领域中的一个极为重要的研究方向。本文归纳和总结了微/纳米操作技术方面的最新研究进展,并按照各种微/纳米镊的工作原理进行分类,分别对基于机械、水力学、电、磁、声、光、热以及这些效应的组合发展起来的微/纳米操作技术进行了评述,特别介绍了其中的一些典型应用。可以看到,微/纳米镊技术的发展,将给微小世界的研究和应用增添更多强有力的工具。
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关键词
微
操作
纳操作
微
电机系统
纳电机系统
微
装配
微
加工
微
测量
微
型机器人
自动化
微/纳米镊
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职称材料
题名
操纵微小世界的工具——微/纳米镊的研究与应用
被引量:
7
1
作者
刘静
机构
中国科学院理化技术研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
2005年第3期97-106,122,共11页
基金
国家自然科学基金项目资助(50325622
50176053)
文摘
在许多领域内,对微小物体的操纵一直都是极富挑战性的课题。这类技术以其在对微/纳米器件或生物学对象进行操作、加工、表征、装配及测试中的关键作用,正成为微/纳米技术尤其是微自动化领域中的一个极为重要的研究方向。本文归纳和总结了微/纳米操作技术方面的最新研究进展,并按照各种微/纳米镊的工作原理进行分类,分别对基于机械、水力学、电、磁、声、光、热以及这些效应的组合发展起来的微/纳米操作技术进行了评述,特别介绍了其中的一些典型应用。可以看到,微/纳米镊技术的发展,将给微小世界的研究和应用增添更多强有力的工具。
关键词
微
操作
纳操作
微
电机系统
纳电机系统
微
装配
微
加工
微
测量
微
型机器人
自动化
微/纳米镊
Keywords
micromanipulation
nanomanipulation
MEMS
NEMS
micro assembly
micro fabrication
micro test
micro robot
automation
micro/nano tweezer
分类号
TH7 [机械工程—精密仪器及机械]
TP241 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
操纵微小世界的工具——微/纳米镊的研究与应用
刘静
《微纳电子技术》
CAS
2005
7
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职称材料
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