压电陶瓷微位移作动器机械特性的研究及改进

本文对应用于误差补偿的压电微位移作动器，从机械结构的角度分析了其静动态特性，指出了其缺点，给出了结构设计基本原则，并设计出一种静动态特性均有改善的微位移作动器结构。

压电微作动器相位特性分析与改进

误差补偿作动器相位特性等动态性能对补偿控制系统有着非常重要的影响。该文在对压电陶瓷叠堆微位移作动器电压驱动过程分析的基础后,首次给出完整的相位特性分析,分析了影响压电陶瓷微作动器相位特性的三个主要因素及它们相应引起的相位滞后量。计算结果显示出机械结构引起的相位滞后占整个压电微作动器相位滞后量的主要成分。该文分析方法和结果有助于PMDA控制系统优化设计,并使机床误差实时补偿更有效、精确和容易。